Chiller高精度冷热循环器

适用范围

全氟聚醚油常温下为无色透明的油状液体，耐高温、耐化学腐蚀、抗氧化、抗辐射，主要用作润滑油、真空泵油，由于具有高的稳定性、安全性，特别是在尤为苛刻条件下工作时所表现的高度可靠性，因此，没有任何一种工作介质能在如此严酷的环境下与全氟聚醚油相媲美。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

氢氟醚是由氢、氟、氧和碳原子构成的化合物，具有醚结构，臭氧消耗潜能值ODP为零，全球暖化潜势系数GWP低，且大气停留时间很短，被认为是CFCs 理想替代品。除优良的环境性质外，氢氟醚还具有热稳定性和化学稳定性、适度的溶解性、毒性低、无腐蚀性、不燃、不产生烟尘、材料兼容性好等特点，易于贮藏和运输，被广泛应用于医疗、电子、金属、精
密器械、光学镜片、通信及航空航天等众多领域。
氢氟醚CLKDOC78作为美国环境保护部（EPA）确定的氟利昂替代物清单（SNAP）清单中的清洁剂和冷媒，且已被EPA排除在挥发性有机化合物（VOC）之列。可用于仪器、电子、半导体、医疗设备、航空航天等制造行业。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。

每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。

加载情况下控温精度可达士0.1℃，可在-45℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
Chillers的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

加载情况下控温精度高，可在-100℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性；先进的低温制冷技术，支持-100℃~ -80℃超低温控温。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。

公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度，加载情况下控温精度可达±0.1C，可在-20℃~+100℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与精准控制。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；

基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；

对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺；

快速和准确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；

低能耗，空间占地小，同时还能够稳定的控制温度。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却。

核⼼技术与优势

防泄漏设计：系统运⾏时管路处于负压状态，即使管道破裂也不会泄漏⾼温介质，安全性⾼。

⾼效节能：全密闭循环，闭式循环，减少热能损耗。

精准控温：采⽤PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.3℃，适⽤于精密制造场景。

多场景适配：⽀持纯⽔、氟化液、⼄⼆醇⽔溶液等不同介质，控温范围从常温到80度

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

冠亚恒温LNEYA双通道⾼温控温的Chiller，可以⽤来满⾜半导体⾼温测试需求，介质温度最⾼可达250℃，以特殊的⼯艺⽅式，保证系统⾼温⼯况下的控温精度。

Chiller高精度冷热循环器

适用范围

ETCU换热控温单元冷却⽔温度范围：+5℃〜+90℃，控温精度±0.05℃；系统⽆压缩机，通过换热降温；⽀持⾮标定制，⽀持PC远程控制；采⽤西⻔⼦/霍尼⻙尔调节阀控制冷却⽔流量；最⼤循环量时，控温温度与冷却⽔温度温差15°C。