高精度复叠制冷快速响应与面板冷水机在半导体工艺中的应用

2025年7月17日 8

在半导体产业的工艺制造环节中，温度控制的稳定性直接影响芯片的性能与良率。其中，面板冷水机作为温控设备之一，通过准确的流体温度调节，为半导体制造过程中的各类工艺提供稳定的环境支撑，成为现代半导体生产链中控温环节。

查看全文