面板水冷机准确温度调节与多重稳定性技术配套使用于半导体晶圆加工

2025年7月17日 10

在晶圆加工过程中，温度环境的细微波动都可能导致器件性能偏差甚至失效。面板水冷机作为核心温控设备之一，通过准确的温度调节与稳定的系统运行，为晶圆制造全过程提供可靠的热环境保障，成为影响加工良率的关键因素。

查看全文