半导体高低温测试Chiller – 冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机

高低温循环测试机/热流仪

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:55 +0000

高低温循环测试机/热流仪

温控精度±0.5℃/±1℃
压缩机法国泰康/艾默生谷轮涡旋柔性压缩机
制冷剂R404A/R23/R508B/R14
节流方式电子膨胀阀
蒸发器板式换热器
电源 50HZ max3.7KW 220V~7.5KW 380V

工作原理：
1、试验机输出气流罩将被测试品罩住，形成一个较密闭空间的测试腔，试验机输出的高温或低温气流，使被测试品表面温度发生剧烈变化，从而完成相应的高低温冲击试验；

冷热循环冲击气流测试机为确保闪存可在极端温度环境(例如: 油气探勘、重工业以及航空领域)可正常实现稳健的闪存读／写操作功能，因此在出厂前需要进行温度测试，冷热循环冲击气流测试机海外产品名称：ThermoStream,ThermoJet,Thermalair,Temptronic,Thermonics

对比于传统的温箱,有以下几个特征:
温度范围：-120℃~+300℃
升降温速率非常快速，150℃~-55℃＜10秒
最大气流量：30m³/h
实时监控被测IC真实温度，实现闭环反馈，实时调整气体温度;
升降温时间可控，程序化操作、手动操作、远程控制
测试条件：环境温度20℃，30m³/h,5Bar，压缩空气或氮气

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多通道水冷机chiller

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:45 +0000

多通道水冷机chiller

多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。

型号	FLTZ-203W-2T
管道	通道1	通道2
温度范围	-20℃～+90℃	-20℃～+90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
制冷量	4kW@-10℃	4kW@-10℃
加热能力	2kW	2kW
流量/压力 MAX	20L/min 0.5MPa	20L/min 0.5MPa
导热介质接口	Rc3/4	Rc3/4
环境温度	10～35℃	10～35℃
环境湿度	30～70%	30～70%
冷却水温度	15～20℃	15～20℃
冷却水流量	20L/min	20L/min
断路器	30A
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
重量	400kg
外形尺寸 cm	5090160

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帕尔贴热电型chiller

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:36 +0000

帕尔贴热电型chiller

TEC热电型chiller

LNEYA 帕尔贴热电的CHILLER温度范围从-20到90℃,专为半导体行业度身定制-20℃90℃快速和精确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，lneya帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制。对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺。高效节能，节省空间，同时还能够稳定的控制温度

重要功能和优势
·高可靠性和低使用成本
·工业空间占用率小
·极低的导热液填充量
·低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能耗
制热、直冷时，冷热部件没有与导热液直接接触
·动态控温，精准控制过程温度，快速温度响应
·温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳定
·改善Wafer-Wafer的稳定性
·模块化部件使得维修更加方便
·使用全氟液体

型号		TEC-1200W	TEC-2500W	TEC-4500W
温度范围		-20℃~90℃
控温精度		±0.1℃
制冷能力	20℃	1200W	2450W	4500W
	10℃	900W	1925W	3500W
	0℃	600W	1400W	2600W
	-10℃	350W	875W	1600W
	-20℃	80W	350W	700W
制热能力		＞3000W	＞6000W	＞12000W
泵类型		直流磁力泵
压力（bar）		≤4
流量		15L/min at 2bar
流体		Galden HT135
冷却水温度		DI＜20℃
冷却水流量		≥12L/min	≥20L/min	≥32L/min
CDA开启温度		＜30℃
CDA压力		0.5-0.8bar
CDA流量		2-3m³/h
CDA露点温度		≤30℃
电源电压		AC208V,三相电压

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接触式高低温测试机

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:31 +0000

接触式高低温测试机

设备应⽤温度范围-75~200℃，⽀持从极低温到⾼温的快速升温和降温。最快速率可达到75℃/min。

能够精确的控制温度，误差通常在±0.2℃以内。
应⽤于芯⽚研发：在芯⽚设计阶段，验证其在不同温度下的性能表现。
质量控制：在芯⽚⽣产过程中，进⾏可靠性测试，确保产品符合标准。
失效分析：通过⾼低温测试，分析芯⽚在极端温度下的实效模式

设备型号		KSD-705-A	KSD-705-B	KSD-710
温度范围		-70℃~+200℃	-75℃~200℃	-75℃~200℃
温度精度		±0.2℃
升降温速率		最高达75℃/min
制冷能力	0℃	800W	1000W	2000W
	-40℃	500W	800W	1500W
	-55℃	300W	450W	900W
测试压头规格		75*75mm	75*75mm	120*120mm
温度监测类型		T型/K型/PT100
控温点位置		Plunger 表面温度
操控⾯板		7寸触摸屏
控制器		PLC可编程控制器，标配支持ModbuSRTU协议，RS485接口，可选择其他通信协议
电源		200v~230v 50hz/60hz
设备外形尺⼨mm		465600365	500600400	550750550
测试件受⼒调节		配置 Z轴气动执行器	配置 Z轴气动执行器	测试架外置气缸
CDA要求		配置 LNEYA Dryer 气体干燥器系列
通讯		Madbus RTU /TCP 、Prfibus DP 、CAN 、Rrofinet

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AET系列气体快速温变测试机

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:25 +0000

AET系列气体快速温变测试机

压缩空⽓进⼊⽓体快速温变测试机，内置有⼲燥器，预先把⽓体⼲燥到露点温度-70度以下，进⾏制冷加热控温输出稳定流量压

⼒恒温的⽓体，对⽬标对象进⾏控温（如各类控温卡盘、腔体环境、热沉板、料梭、腔体、电⼦元件等），可根据远程卡盘上的温度传感器进⾏⼯艺过程控温，⾃动调节输出⽓体的温度。

精密恒温恒湿机组

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:17 +0000

精密恒温恒湿机组

1、温度和湿度控制可适用于不同的设定温度下，亦可以在一个固定的使用温、湿度下恒定工作。
2、机组可以根据实际情况，配比一定的新风量以满足暖通新风要求。
3、精密型恒温恒湿机组使用新、回风温湿度范围。
4、在最大额定工艺风量下运行时，送风机出口侧空气出口处的恒定静压；也可以根据末端是否配置有FFU调整 5、40°f相当于的400ppm 的CaCO3 。
6、冷却水水质要求：不低于《工业循环冷却水处理设计规范》GB50050-95 7、送风管道必须保温处理，现场安装尽可能的缩短管路长度，有关可能的详细信息，请参阅操作手册

产品型号		LW-0090-BW01	LWX-0090-BW01	LW-0100-BW01	LWX-0100-BW01
额定处理风量	m3/h	8000～9000		9000～10000
可设定温湿度范围	℃/ %RH	22～24	22～23;45%RH～60%RH	22～24	22～24；45%RH～70%RH
温度控制精度	℃	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
湿度控制精度	%RH	/	±1%RH	/	±1%RH
最大制冷量	kW	20kW @25℃		16kW @26℃
最大加湿能力	Kg/h	/	5	/	2.3
新风比 ②		20%	20%	/	/
设备新风温、湿度范围	℃/ %RH	23±2℃；；45%～60%±2%RH		25℃; 45%～60%±2%RH
设备回风温、湿度范围	℃/ %RH	23±0.1；45%RH ±2%RH		/
最大机外送风静压	Pa	300～400		0～200
送风口接管直径	mm	φ500		φ500
加湿供水温度范围	℃	/	10～40	/	10～40
加湿补水管接口	/	/	Rc1/2	/	Rc1/2
加湿补水压力值	bar	/	1～4	/	1～4
水质要求	/	/	导电率75～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *无有机化合物	/	导电率75～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *无有机化合物
冷却水温度	℃	18～22		18～22
冷却水接管		Rc1		Rc1
电源供应	V/Hz	3～380v±10%; 50Hz±5Hz 三相五线制
机组额定输入功率	kW	12.5	12.5	4	4
机组运行最大电流值	A	23	23	7	7
机组噪音值	dB(A)	≤80		≤75
机组最大输入功率	kWA	15		8
冷媒/充注量	Kg	R410A/5		R410A/4
安全保护功能		电源过欠压、逆缺相保护；电机过热载保护；压缩机排气温度过高保护、系统高压保护、系统低压保护、温度模块故障保护、可调式超温保护，风机电机过热保护等
机组净重	Kg	750	800	650	680
机组毛重	Kg	800	850	700	750
机组外形尺寸(LBH)	cm	213100200		120120195
机组包装尺寸(LBH)	cm	230115210		135135205

迷你型精密恒温恒湿机组（风冷）

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:15:06 +0000

迷你型精密恒温恒湿机组（风冷）

1、温度和湿度控制范围并不一定代表实际可控制的范围。实际可控制的温度和湿度范围取决于进气温度和湿度以及工艺风量。根据操作环境设置工艺风量。
2、对于M01/02系列，当进气温度和湿度稳定时。控制器上显示的精度值仅适用于出口端的一点；同时是在最大额定风量下运行时。对于M03系列，在以额定工艺风量（3 m³/min）运行时，开始运行后大约2分钟内，由于压缩机油回流，温度会暂时波动。此外，如果目标湿度较高，并且根据加湿水供应的时间不同，可能无法维持之前提到的精度。在这种情况下，通过调整与供水相关的参数，可以减少波动量。
3、在最大额定工艺风量下运行时，送风机出口侧空气出口处的恒定静压。
4、将产品插入专用插座以防止电压下降，三相电源电压相位不平衡应小于±3 %。
5、在指定范围内最大工作电流下运行时。
6、冷却水水质要求：不低于《工业循环冷却水处理设计规范》GB50050-95；备注 40°f相当于的400ppm 的CaCO3 。 7、高度包括出口端。所示数值是在指定最大加湿水平运行时的。有关可能的详细信息，请参阅操作手册备注：送风管道必须保温处理，现场安装尽可能的缩短管路长度（最大长度不超过3m)

产品型号		LMW-01BS	LMWX-01BS	LMW-03BT	LMWX-03BT
额定处理风量	m3/min	0.7～1.0		2.0～4.0
可设定温湿度范围	℃/ %RH	21～26	21～26;45%RH～60%RH	21～26	21～26；45%RH～60%RH
温度控制精度	℃	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
湿度控制精度	%RH	/	±1.0%RH	/	±1.0%RH
最大制冷量(50/60Hz）	kW	0.2/0.25	0.37/0.45	1.3	1.3
再热能力(50/60Hz）	kW	0.1/0.13	0.4	0.5	0.7
最大加湿能力	Kg/h	/	0.8	/	2.3
加湿供水温度范围	℃	/	10～40	/	10～40
加湿补水管接口	/	/	Rc1/2	/	Rc1/2
加湿补水压力值	bar	/	0.3～2	/	0.3～2
水质要求	/	/	导电率125～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *无有机化合物	/	导电率125～1250μs/cm 水硬度不高于40°f *无有机化合物
最大机外送风静压	Pa	120/130	120/160	110/150	110/150
送风口接管直径	mm	φ75	φ100	φ100	φ100
设备使用环境温度	℃/ %RH	20～26；45%RH～60%RH
使用环境温度精度范围	℃/ %RH	±1；±5%RH
电源供应	V/Hz	1～220v±10%; 50/60Hz±5Hz		3～380v±15%; 50Hz±5Hz
机组额定输入功率	kW	0.32/0.34	1.2/1.2	0.75	2.7
机组运行最大电流值	A	1.7/1.82	6.4/6.4	1.35	4.8
机组噪音值(50/60Hz）	dB(A)	54/56	58/60	65	66
机组最大输入功率	kWA	0.34/0.38	1.5/1.5	1.4	4
冷媒/充注量	Kg	R134A/0.13	R407C/0.3	R410A/0.4	R410A/0.48
机组净重	Kg	32	69	95	135
机组毛重	Kg	40	85	110	150
机组外形尺寸(LBH)	cm	5041.234.6	633976.5	5948107	6852135
机组包装尺寸(LBH)	cm	605040	755085	7060120	7865140

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负压循环温控设备

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:14:59 +0000

负压循环温控设备

负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却。

核⼼技术与优势

防泄漏设计

系统运⾏时管路处于负压状态，即使管道破裂也不会泄漏⾼

温介质，安全性⾼。

⾼效节能

全密闭循环，闭式循环，减少热能损耗。

精准控温

采⽤PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.3℃，适⽤于精

密制造场景。

多场景适配

⽀持纯⽔、氟化液、⼄⼆醇⽔溶液等不同介质，控温范围从常

温到80度

设备名称		负压循环温控设备
设备型号		ZLFQ-80
额定换热量		80kW
一次侧（介质侧）	工作介质	介质侧纯水、氟化液、乙二醇水溶液等
	额定流量	300L/MIN
	储液容积	120L
	供回液温度	25/35℃
	温控精度	±0.3℃
	真空泵抽气量	130m³/h
	负压压头	70KPA
	内循环泵配置	1+1冗余
	接口尺寸	Rc1 1/4
二次侧（冷却侧）	冷却介质	PCW
	冷却流量	6m³/h
	过滤精度	50um
	接口尺寸	Rc1
控制系统		PLC控制器，前馈调节+控滞后PID算法
通讯协议		RS485串口MODBUS RTU协议/以太网接口TCP/IP协议
供液泄露率		负压循环无泄漏
安全防护		具有自我诊断功能；设备过载保护；低液位保护等
其他功能		自动泄露检测、自动排液、自动补液等功能
电源		AC220V/50HZ，8A(max)
外形尺寸 cm		130(L)70(W)185(H)

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压缩空气干燥器

伊涅亚阿登迪 — Mon, 09 Oct 2023 07:14:51 +0000

压缩空气干燥器

应用于传感器、半导体制造、薄膜和包装材料执照、粉状物料运输、喷涂系统、食品行业、制药行业等需要实现-80℃低露点干燥和清洁的分布式气源。
额外过滤油分和颗粒物，气流经过过滤等级 0.01 μm的预过滤器，防止干燥剂被尘埃和油（油会极大缩短干燥剂的使用寿命）污染
压缩空气干燥器由多组灌装了干燥剂的滤芯组成。气雾状压缩空气交替流经多组滤芯，空气中的水分就会聚集在干燥器的表面。过滤过程达到预先确定的持续时间后气流就会切换到其它滤芯，而一部分气流（冲放气流）就会被用来重新发生第一个滤芯的干燥器。冲放气流会释放到大气中。干燥剂的使用寿命约为 15000 个工作小时。

压缩空气干燥器
型号	DR-500	DR-1000	DR-2000
压力范围	0.65～1.0Mpa
露点温度	-70℃
处理气量	650L/Min	1300L/Min	2500L/Min
成品气量	500L/Min	1000L/Min	2000L/Min
接口尺寸	Rc1/2	Rc3/4	Rc1
电源功率	220V 15W
尺寸 cm	3522132	3558132	70120132

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