半导体chiller – 冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机 https://www.cnzlj.com -无锡冠亚恒温制冷 Wed, 03 Dec 2025 03:19:09 +0000 zh-Hans hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.9 https://www.cnzlj.com/wp-content/uploads/2023/10/cropped-Lneya-logo-32x32.png 半导体chiller – 冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机 https://www.cnzlj.com 32 32 Chiller 双变频 https://www.cnzlj.com/xinpian/chiller-shuangbianpin.html https://www.cnzlj.com/xinpian/chiller-shuangbianpin.html#respond Sun, 08 Oct 2023 06:18:08 +0000 https://cnzlj.com/xinpian/chiller-shuangbianpin.html

Chiller 双变频

半导体chiller 半导体温控装置Chiller
  • 温控精度±0.1℃
  • 温度范围-30℃~40℃
  • 泵压力6bar max
  • 内循环液容积8L
  • 电源 220V 50/60HZ

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

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Chiller低温复叠制冷系列

半导体chiller 半导体温控装置Chiller
  • 温控精度±0.1℃
  • 温度范围-80℃~+80℃
  • 内循环液容积4L~10L
  • 膨胀罐容积10L~20L
  • 电源 380V 50HZ

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号 FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
温度范围  -80℃～+90℃
控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量/压力 MAX 7～25L/min  5bar 12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃ 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW
加热功率 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW
内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L
导热介质 氟化液
进出接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷却水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1
冷却水at20℃ 1.8m³/H 2.5m³/H 3m³/H 5m³/H 6m³/H
断路器 25A 25A 32A 40A 50A
⼯艺过程温度控制 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
型号FLTZ-1002WFLTZ-1004W
温度范围 -100℃～+90℃
控温精度±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX7～25L/min12～45L/min
制冷量at-90℃1.5kW3kW
加热功率3.5kW5.5kW
内循环液容积5L8L
膨胀罐容积10L15L
导热介质氟化液
导热介质接口Rc3/4Rc3/4
冷却水接口Rc3/4Rc1
冷却水at20℃50L/min 2bar~7bar100L/min 2bar~7bar
断路器32A63A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）

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Chiller 换热型 系统无压缩机

半导体chiller 半导体温控装置Chiller
  • 冷却能力5KW~30KW
  • 温度范围冷却水温度+5℃~90℃ ±0.3℃
  • 储罐容积6L~15L
  • 尺寸480*750*390/480*750*500

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号

ETCU-005W

ETCU-008W

ETCU-015W

ETCU-030W

温度范围

冷却水温度 +5℃~90℃ ±0.3℃

冷却水温度

7℃~30℃ 采用西门子/霍尼韦尔调节阀控制冷却水流量

冷却能力

5kw

8kw

15kw

30kw
 

测试条件：zui大循环量时，控温温度与冷却水温度温差15℃

循环泵流量

7~20L/min 5bar

7~20L/min 5bar

15~40L/min 5bar

20~60L/min 5bar

储罐容积

6L

8L

10L

15L

尺寸

480*750*390

480*750*390

480*750*390

480*750*500

电源

220V 50HZ/60hz 0.6kw

220V 50HZ/60hz1.3kw

220V 50HZ/60hz 1.6kw

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半导体 chiller 常规型

半导体chiller 半导体温控装置Chiller
  • 温控精度±0.5℃控制蒸发温度
  • 温度范围-40℃~-15℃
  • 制冷@-35℃0.5KW~4KW
  • 制冷剂R404A可选配R507C R448
  • 电源 220V 50HZ

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号FLTZ-002
FLTZ-002W		FLTZ-003
FLTZ-003W		FLTZ-004
FLTZ-004W		FLTZ-006
FLTZ-006W		FLTZ-008
FLTZ-008W		FLTZ-010
FLTZ-010W		FLTZ-015
FLTZ-015W
温度范围5℃～90℃
控温精度±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
制冷量at10℃6kW8kW10kW15kW20kW25kW40kW
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控制10℃以上）
进出接口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1
冷却水口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc1Rc1Rc1Rc1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m³/h2m³/h2.5m³/h4m³/h4.5m³/h5.6m³/h9m³/h
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm97*40*10897*40*10897*40*108105*43*140105*43*140108*60*150108*60*150

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chiller 直冷型

半导体chiller 半导体温控装置Chiller
  • 温控精度±0.5℃控制蒸发温度
  • 温度范围-40℃~-15℃
  • 制冷@-35℃0.5KW~4KW
  • 制冷剂R404A可选配R507C R448
  • 电源 220V 50HZ

型号ZLJ-41.0ZLJ-41.5ZLJ-42ZLJ-43ZLJ-44ZLJ-46ZLJ-48
ZLJ-41.0WZLJ-41.5WZLJ-42WZLJ-43WZLJ-44WZLJ-46WZLJ-48W
温度范围-40℃～-15℃
控温精度±0.5℃ 控制蒸发温度
制冷AT-35℃0.5kw0.7kw1kw1.6kw2.1kw3.2kw4kw
制冷剂R404A 可选配R507C R448
高温降温具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
电源220V 50HZ380V 50HZ 可定制220V
断路器6A6A10A6A10A16A16A
型号ZLJ-81.0ZLJ-81.5ZLJ-82ZLJ-83ZLJ-84ZLJ-86ZLJ-88
ZLJ-81.0WZLJ-81.5WZLJ-82WZLJ-83WZLJ-84WZLJ-86WZLJ-88W
温度范围-80℃～-50℃
控温精度±0.5℃ 控制蒸发温度
制冷AT-70℃0.37kw0.5kw0.75kw1.1kw1.5kw2.6kw3.1kw
制冷剂R404A/R508B
高温降温具备高温150度直接降温技术，满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
电源220V 50HZ380V 50HZ 可定制220V
断路器10A16A25A16A16A25A32A

型号SLJ-3WSLJ-4WSLJ-6WSLJ-11W
温度范围-150℃～-110℃
制冷AT-120℃3KW4KW6KW11KW
制冷AT-135℃2.5KW3.3KW5KW9KW
制冷剂LNEYA -150混合制冷剂
电源380V 50HZ
断路器25A32A50A80A
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