什么是半导体行业用的面板系列Panel Chiller?
半导体面板Chiller 是用于半导体制造和显示面板(如LCD/OLED)生产中的高精度冷却设备,主要功能是为关键工艺设备提供稳定的温度控制,确保生产质量和效率。

一、什么是面板系列Panel Chiller?
半导体行业用的面板系列Panel Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜工艺等,支持大流量高负载,确保严苛工况下持续稳定运行;支持冷却水动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。
半导体行业用的面板系列Panel Chiller采用变频智能控制,减少无效能耗;全动补液与⽔质管理,缺液时自动补液;符合三通道工艺设计要求,确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。
二、面板系列Panel Chiller应用工艺
面板系列Panel Chiller(工业冷水机):一种通过制冷循环系统提供低温冷却水的设备,广泛应用于工业温控。
半导体面板:可能指两类场景:
半导体制造:如晶圆加工中的光刻、蚀刻等设备冷却。
显示面板制造:如LCD/OLED生产中的蒸镀、曝光等环节温控。
三、面板系列Panel Chiller应用场景
半导体制造中的Chiller
作用:冷却光刻机、离子注入机、蚀刻机等,维持设备恒温(±0.1℃精度)。
需求:超纯水冷却、防腐蚀材料(如不锈钢)、抗振动设计。
显示面板(面板行业)中的Chiller
作用:控制蒸镀机、激光切割、OLED蒸镀等设备的温度,避免热变形。
特点:高能效比、快速降温能力,应对大面积面板均匀冷却需求。
四、面板系列Panel Chiller技术特点
高精度温控:采用PID算法或变频技术,控温范围:+15~+30℃℃,控温精度±0.1°C。
满足需求:支持大流量大负载需求,控温稳定性高
支持多通道:支持相关工艺三通道需求,升降温速率快
稳定性:两级闭环节能控制,具备自动补液功能
五、面板系列Panel Chiller常见类型
风冷式Chiller:适合水资源有限的区域,散热依赖风扇。
水冷式Chiller:效率更高,需搭配冷却塔使用。
超低温Chiller:用于特殊工艺(如某些激光设备),可达-40℃以下。
六、面板系列Panel Chiller的行业重要性
半导体:温度波动可能导致晶圆缺陷,影响芯片良率。
显示面板:温度不均会导致色彩偏差、面板寿命缩短。
随着科技的不断发展,半导体面板Chiller的性能将不断提升,控温精度和冷却效率将进一步提高。同时,随着新能源、新材料等领域的快速发展,半导体Chiller的应用领域也将不断拓展。

双通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。
详细信息
单通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。
详细信息
三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。
详细信息
面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等,支持⼤流量⾼负载,确保极端⼯况下持续稳定运⾏;支持冷却⽔动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。
详细信息相关推荐
-
面板水冷机准确温度调节与多重稳定性技术配套使用于半导体晶圆加工
29在晶圆加工过程中,温度环境的细微波动都可能导致器件性能偏差甚至失效。面板水冷机作为核心温控设备之一,通过准确的温度调节与稳定的系统运行,为晶圆制造全过程提供可靠的热环境保障,成为影响加工良率的关键因素。
查看全文 -
-
面板系列Panel Chiller
360面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等,支持⼤流量⾼负载,确保极端⼯况下持续稳定运⾏;支持冷却⽔动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。
查看全文 -
半导体行业用面板水冷机panel chiller的流体传热特性及系统优化研究
72面板水冷机panel chiller的核心功能是通过流体介质的循环流动实现热量传递,其传热特性直接决定控温精度与系统稳定性,循环系统采用磁力驱动泵,避免传统机械密封的泄漏风险,同时通过变频技术调节泵的转速,确保不同工况下的传热需求。
查看全文