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单通道系列 Single Channel Chiller

单通道系列 Single Channel Chiller

适用范围

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。
Chillers的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

加载情况下控温精度高，可在-100℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性；先进的低温制冷技术，支持-100℃~ -80℃超低温控温。

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

特点一
特点一温度范围：-100~+90℃，控温精度：±0.1℃（可定制±0.01℃）
特点二
特点二采用先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥发
特点三
特点三40℃以内加热方式采用压缩机热气加热，无需加热器
特点四
特点四采用先进的变频技术，实现高效节能

产品参数

Product Parameter

 

型号 FLTZ-001
FLTZ-001W		 FLTZ-002
FLTZ-002W		 FLTZ-003
FLTZ-003W		 FLTZ-004
FLTZ-004W		 FLTZ-006
FLTZ-006W		 FLTZ-008
FLTZ-008W		 FLTZ-010
FLTZ-010W		 FLTZ-015
FLTZ-015W
温度范围 5℃～40℃(可扩展到90℃)
控制模式 循环液出口温度控制
工件负载温度控制（选配）
出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@20℃ 2.5kW 6kW 9kW 10kW 15kW 20kW 25kW 38kW
加热能力 0.5kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW
介质类型 氟化液、乙二醇水溶液或DI水等
制冷剂类型 R404A、R410A或R448A
介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷却水 0.6m³/h@23℃ 1.1m³/h@23℃ 1.6m³/h@23℃ 2.2m³/h@23℃ 3.3m³/h@23℃ 4.4m³/h@23℃ 5.5m³/h@23℃ 8m³/h@23℃
冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4
膨胀罐容积 10L 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
操作面板 7寸彩色触摸屏
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源 220 VAC ± 10%，单相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制) 380 VAC ± 10%，三相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率（max） 2.5kW 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm 40*90*100 48*100*115 48*100*115 50*108*130 50*108*140 80*100*165 90*110*165 100*120*165
非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

 

型号 FLTZ-202
FLTZ-202W		 FLTZ-203
FLTZ-203W		 FLTZ-204
FLTZ-204W		 FLTZ-206
FLTZ-206W		 FLTZ-208
FLTZ-208W		 FLTZ-210
FLTZ-210W		 FLTZ-215
FLTZ-215W
温度范围 -25℃～90℃
控制模式 循环液出口温度控制
工件负载温度控制（选配）
出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-15℃ 1kW 2kW 2.5kW 4kW 6kW 8kW 12kW
制冷量@-20℃ 0.8kW 1.5kW 2kW 3.5kW 5kW 6.5kW 10kW
加热能力 1.5kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW
介质类型 氟化液、乙二醇水溶液
制冷剂类型 R404A
介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
冷却水 1.1m³/h@23℃ 1.6m³/h@23℃ 2.2m³/h@23℃ 3.3m³/h@23℃ 4.4m³/h@23℃ 5.5m³/h@23℃ 8m³/h@23℃
冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
操作面板 7寸彩色触摸屏
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源 380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率(max) 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm 48*100*115 48*100*115 50*108*130 50*108*140 80*100*165 90*110*165 100*120*175
非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

 

型号 FLTZ-402
FLTZ-402W		 FLTZ-403
FLTZ-403W		 FLTZ-404
FLTZ-404W		 FLTZ-406
FLTZ-406W		 FLTZ-408
FLTZ-408W		 FLTZ-410
FLTZ-410W		 FLTZ-415
FLTZ-415W
温度范围 -40℃～90℃
控制模式 循环液出口温度控制
工件负载温度控制（选配）
出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-10℃ 1.5kW 3kW 3.2kW 5kW 7kW 9kW 13kW
制冷量@-30℃ 0.6kW 1kW 1.3kW 2kW 2.8kW 4kW 5.5kW
加热能力 1kW 1.5kW 2kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW
介质类型 氟化液、乙二醇水溶液
制冷剂类型 R404A
介质流量压力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 25LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
冷却水 1.1m³/h@23℃ 1.6m³/h@23℃ 2.2m³/h@23℃ 3.3m³/h@23℃ 4.4m³/h@23℃ 5.5m³/h@23℃ 8m³/h@23℃
冷却水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4
膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
操作面板 7寸彩色触摸屏
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源 380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率（max） 4.5kW 6kW 7kW 11kW 15kW 18.5kW 25kW
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm 48*100*115 50*108*140 50*108*140 50*108*150 80*100*165 90*110*165 100*120*175
非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

 

 

型号 FLTZ-803
FLTZ-803W		 FLTZ-805
FLTZ-805W		 FLTZ-806
FLTZ-806W		 FLTZ-808W FLTZ-8010W FLTZ-8015W FLTZ-8025W
温度范围 -80℃～50℃(可扩展到100℃)
控制模式 循环液出口温度控制
工件负载温度控制（选配）
出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@25℃ 3kW 4.5kW 5kW 6.5kW 9kW 14kW 25kW
制冷量@-55℃ 1kW 2.5kW 2.8kW 3.2kW 4.8kW 7.5kW 10.2kW
制冷量@-70℃ 0.6kW 1.2kW 1.5kW 2kW 2.8kW 5.5kW 8kW
加热能力 1.5kW 2.5kW 3kW 4kW 5.5kW 7.5kW 11kW
制冷剂类型 R404A/R508B
介质类型 氟化液
介质流量压力 15LPM@3bar 20LPM@3bar 25LPM@3bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar 35LPM@5bar
介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷却水 2m³/h@23℃ 3m³/h@23℃ 3.6m³/h@23℃ 4.8m³/h@23℃ 7m³/h@23℃ 10m³/h@23℃ 15m³/h@23℃
冷却水接口 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 Rc1 1/4 Rc2
膨胀罐容积 15L 15L 15L 30L 30L 40L 40L
流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM 20LPM~50LPM
流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
操作面板 7寸彩色触摸屏 10寸彩色触摸屏
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源 380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率（max） 8.5kW 12.5kW 16kW 22kW 27.5kW 38kW 60kW
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm 65*90*165 70*95*175 70*95*175 80*120*185 80*120*185 100*130*185 120*160*195
非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

 

型号 FLTZ-1002W FLTZ-1004W FLTZ-1006W
温度范围 -100℃～90℃（(可扩展到100℃)）
控制模式 循环液出口温度控制
工件负载温度控制（选配）
出口控温精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
工艺工程温度控制 可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合来控制工件目标温度（动态控温）
制冷量@-90℃ 1.5kW 3kW 6kW
加热能力 3.5kW 5.5kW 15kW
介质类型 氟化液
制冷剂类型 混合冷媒
介质流量压力 30LPM@6bar 30LPM@6bar 30LPM@6bar
介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷却水 6.6m³/h 10m³/h 18m³/h
冷却水接口 Rc1 Rc1 1/2 Rc2
膨胀罐容积 30L 30L 40L
流量控制 20LPM~40LPM 20LPM~40LPM 20LPM~40LPM
流量显示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
操作面板 10寸彩色触摸屏
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、漏液报警、加热系统保护、进出液口压力监控及低液位保护
通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源 380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率(max) 20.5kW 27.5kW 55kW
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035
水冷外形尺寸cm 80*120*185 100*150*185 120*160*195
非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足SEMI或CE等认证

 

1.额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度：16℃。

2.此表数据仅供选型参考，如样册有更新恕不另行通知，请以机组铭牌参数为主。

3.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

4.水冷设备需要闭式冷却塔或冷水机供水，如采用开式冷却塔，必须增加过滤器。供水压力1.5bar~4bar

 

应用原理：

CHILLER单通道变频设备集成单级蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，并且同时实现精准控温功能，为用户提供相温度的冷却介质，适用于刻蚀、光刻机、涂胶显影设备等设备领域制冷加热控温。

核心技术与优势：

1.高效节能：设备可通过内置变频器根据用户冷热负荷自动调节泵及压缩机频率，保证机组运行状态稳定适配末端负载情况，避免压缩机与电加热满负荷对抗，达到节能效果。

2.精准控温： 采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.1℃，适用于精密制造场景。

3.多场景适配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用（采用去离子水可满足微电子领域用户冷媒介质低导电率需求)。

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感。

精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率。

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半导体封测工艺过程控温解决方案

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能。

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