帕尔贴Chiller

产品参数

Product Parameter

LNEYA 帕尔贴热电制冷器Chiller有五款款型号可选，为晶圆蚀刻工艺提供可靠和精确的温度控制

• 高可靠性和低使用成本；工业空间占用率小；极低的导热液填充量；
• 低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能耗；
• 制热、直冷时，冷热部件没有与导热液直接接触；动态控温，精准控制过程温度，快速温度响应；
• 温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳定；改善Wafer-Wafer的稳定性；模块化部件使得维修更加方便；使用全氟液体。