半导体光刻直冷机Litho chiller日常保养规范：四大核心系统维护要点与操作指南

2025年6月18日新闻中心行业新闻 40

　　光刻直冷机Litho chiller作为半导体制造领域的关键设备之一，其日常保养工作对设备的稳定运行、使用周期以及光刻工艺的精度都有着影响。科学合理的日常保养能够预防设备故障，确保其性能始终处于工作状态。

　　一、冷却系统的保养

　　冷却系统是光刻直冷机Litho chiller的核心部分之一，做好冷却系统的保养是设备正常运行的基础。要定期检查冷却液的状态和液位。冷却液在使用过程中会逐渐变质，影响冷却效果，因此需要按照规定的周期对冷却液进行检测。

　　其次，冷却水路中可能会因水质问题而产生水垢、杂质等，导致水路堵塞，影响冷却水的流通。定期对冷却水路进行清洗是必要的保养措施。清洗时，可先将水路中的冷却液排出，然后用清水进行冲洗，可使用专用的水路清洗剂进行清洗，以去除水路中的水垢和杂质。此外，还应检查水路连接处是否有泄漏现象，若发现泄漏点，应及时更换密封件。

　　二、制冷系统的保养

　　制冷系统的性能直接关系到光刻直冷机Litho chiller的制冷效果，因此制冷系统需要注意日常保养。压缩机作为制冷系统的核心部件，需要定期进行检查和维护。首先，要检查压缩机的运行状态，包括压缩机的转速、温度等。通过听诊器等工具监听压缩机的运行声音，可能是压缩机内部零件磨损或润滑不佳等原因导致，应及时进行检修。

　　三、电气系统的保养

　　电气系统的稳定运行是光刻直冷机Litho chiller正常工作的保障之一，因此需要对电气系统进行定期保养。首先，检查电气连接部位是否牢固，包括电线接头、端子排等。若发现连接松动，应及时进行紧固，避免因接触不佳而导致设备故障或安全隐患。同时，要检查电线是否有老化、破损等现象，若发现问题，应及时更换电线。定期对PLC、触摸屏、传感器等电气元件进行清洁，去除表面的灰尘和杂物，以确保其正常工作。此外，还应检查电气系统的接地情况，确保接地电阻符合要求，以保证设备的安全运行。

　　四、循环系统的保养

　　循环泵是循环系统的关键部件之一，需要定期检查循环泵的运行状态。检查泵的转速是否正常，可通过变频器的控制面板查看实时转速数据，并与设定值进行对比。若转速异常，可能是变频器故障或泵本身出现问题，需对变频器和泵进行进一步的检测和维修。同时，检查泵的噪音和温度，若发现异常，应及时查找原因并进行处理。此外，还应检查循环系统中的过滤器，定期清洗或更换过滤器滤芯，以防止过滤器堵塞而影响循环流量。

光刻直冷机Litho chiller的日常保养工作是一项细致、系统的工作，需要从多个方面进行维护和管理。通过科学合理的保养措施，可以延长设备的使用周期，提高设备的运行稳定性和可靠性，为半导体光刻工艺的顺利进行提供有力保障。