常温高jing度系列：CHILLER 制冷循环器介绍

冠亚恒温小编为大家介绍常温高jing度系列 CHILLER 制冷循环器。该系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，实现制冷加热与高jing度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域的温控需求，以稳定的温度输出适配高jing密制造场景。

设备温度范围为 + 15℃至 + 25℃，出口控温jing度 ±0.005℃，可满足jing密制程对温度稳定性的严苛要求。制冷量 @20℃覆盖 2.5kW 至 25kW，可根据不同制程的热负荷需求选择适配型号，避免冷量供给不足或过剩的问题。介质类型支持氟化液、乙二醇水溶液、纯净水、DI 水等，适配不同制程对介质的要求，可根据工艺需求选择对应介质类型。

控制模式采用本体出液口温度控制模式，可选工件负载温度控制，工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合，控制工件目标温度，实现动态控温。设备采用 PID 算法或 PLC 控制，实现温度波动≤±0.005℃，适用于高jing密制造场景。

介质流量压力为 15LPM@3bar 至 30LPM@5bar，介质接口涵盖 Rc1/2、Rc3/4、Rc1 等规格，冷却水接口包括 Rc3/8、Rc1/2、Rc1 等，冷却水流量从 0.6m³/h 到 5.5m³/h 不等，可匹配不同制程设备的管路布局与流量需求。膨胀罐容积为 10L 至 25L，可根据型号适配。

安全防护方面，设备具备自我诊断功能，相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏液报jing、进出液口压力监控及低液位保护等功能，实时监测设备运行状态，异常时自动报jing并停机，保障设备与制程设备的安全运行。通讯类型支持 MODBUS RTU/TCP 协议或 ETHERCAT、LONWORKS 等，可接入产线自动化控制系统，实现远程监控与参数调整，适配工业场景的自动化运行需求。

常温高jing度系列 CHILLER 制冷循环器以高jing度控温、多介质适配与稳定运行的特性，为高jing密制造场景提供可靠的温控支持，可根据不同制程的温度需求、流量需求选择适配型号，保障制程的稳定运行。

LT系列低温冷冻机

适用范围 冠亚恒温低温冷冻机温度范围从-150℃到-5℃，采用二次过冷技术，制冷迅速。产品可靠性强，性能优异。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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LTZ变频系列低温冷冻机组

适用范围 LTZ系列低温冷冻机采用变频技术，节约能耗，控温范围：-115℃～30℃，控温精度：±0.5℃。变频压缩机组通过内置变频装置随时根据⽤⼾冷热负荷需求改变直流压缩机的运⾏转速，从⽽避免压缩机与电加热满负荷对抗，保持机组稳定的⼯作状态，达到节能效果。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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HLTZ系列氢气换热制冷机组

适用范围 氢气经过内高压换热器，制冷系统通过制冷剂直接与氢气换热，实现换热控温效率高；设备本体采用正压防爆系统，正压系统内置有恒温器，确保系统环境维持在常温。相对于传统防冻液或其他流体与氢气换热，本设备采用介质为制冷系统制冷剂（相变热），能效更高；内置有可再生干燥机，确保正压系统内部干燥，没有冷凝水；可与耐高压微通道换热器或壳管换热器（99Mpa)组合…

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LG螺杆机组系列

适用范围 本系列设备适⽤于各类化⼯、医药、机械等领域⽣产⼯艺冷源，可提供-110℃~30℃冷冻介质，可作为冰蓄冷、低温送⻛及其它⽣产⼯艺所要求的⼯艺冷源。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter LG 5℃~30℃

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2度纯水DI制冷控温机组

适用范围 应用： 特别适合生产过程中2℃~5℃DI水需求的应该场景。 常温DI水进入控温机组，出需求目标温度DI水，解决了水在5℃以内控温容易结冻问题。 设备跟据不同的进水量及温度自动调节制冷系统温度及冷量达到目标需求的DI温度。 采用变频调节，进水流量不稳定也可较好的调节输出，达到较高的控温精度要求。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter …

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LTZ变频M系列

LTZ变频M系列，适合应⽤于⽬标控温对象已经有蓄冷罐、循环泵，通过循环泵将介质输送⼊LTZ
M系列制冷控温机组，构成⼀个闭合循环制冷系统。

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LTZ变频带加热系列

LTZ变频带加热系列，产品支持加热功能，控温范围： -40℃～+90℃，控温精度：±0.3℃。变频机组采⽤先进的变频技术，精确控制压缩和⻛机运⾏转速，通过电⼦膨胀阀智能调节，快速制冷。

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LT-800 桌面款制冷循环器

桌面款制冷循环器使用面积小，制冷效率快，有效提升实验室及小型实验台使用操作效率，高可靠性的产品解决用户需求。

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