CHILLER气体制冷系列在半导体测试中的应用

冠亚研发的CHILLER气体制冷系列，涵盖LQ、AI、AES、AET四大品类，以干燥压缩空气、氮气、氩气等无腐蚀性气体为温控介质，依托复叠制冷与gao效换热技术，实现-105℃至+125℃的宽温域控温，可jing准适配半导体测试全流程的温控需求，为半导体测试提供稳定、可靠的气体温控支持，适配探针台、测试腔体、分选台等多种测试设备。

在半导体芯片电性能测试中，该系列设备可提供jing准低温气体，控制测试环境温度，避免温度波动影响芯片电学参数，保障测试数据的准确性。半导体芯片的电学特性对温度min感，不同测试环节需不同温度区间的气体支持，冠亚CHILLER气体制冷系列可根据测试需求，灵活调节气体温度，适配-40℃至-105℃的不同低温测试场景，覆盖常规测试与ji端环境测试需求。

在半导体器件老化测试中，该系列设备可模拟芯片在ji端温度环境下的运行状态，为老化测试腔体提供稳定低温气流，加速芯片老化过程，助力筛选早期失效器件，为芯片可靠性评估提供数据支撑。其全密闭气路设计可防止外界杂质污染气体介质，保障测试环境的洁净度，避免杂质对半导体器件造成损伤，适配半导体器件的高精度测试要求。

在半导体晶圆测试环节，冠亚CHILLER气体制冷系列可对晶圆测试平台进行jing准温控，维持晶圆测试过程中的温度稳定，确保光刻、刻蚀等相关测试环节的工艺一致性。设备采用二次过冷技术，制冷响应速度快，可在短时间内将气体降至目标温度，满足测试过程中快速温变的需求，同时控温精度可达±0.1℃，有效减少温度偏差带来的测试误差。

此外，该系列设备适配半导体测试的连续运行需求，支持24小时不间断工作，气体换热系统耐压可达20bar，适配高压气体测试工况。不同品类可针对性适配不同测试场景，LQ系列适配常规测试温控，AI系列适配高精度控温测试，AES系列适配快速温变测试，AET系列适配定制化测试需求，quan方位覆盖半导体测试的多样化温控需求，为半导体测试工作的有序开展提供保障。

AET高速光模块热流仪

适用范围 运用于半导体测试平台的高低温测试。电子设备高温低温恒温测试冷热源。 非接触测试:避免机械接触对模块的压力，更适合某些精密或特殊封装模块;热场均匀:流动空气包裹模块，温度梯度小;无磨损风险:没有接触式TEC的反复压接磨损问题;设备小5，方便移动，插电即用;可与测试机进行高度交互，可控工件Tc和Tj(需给入芯片温度信号) 产品特点 Product Features 产…

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精密恒温恒湿机组

冠亚恒温LNEYA精密恒温恒湿机组，超精密空调是⼀种能精准控制环境温、湿度的空⽓调节设备，提供两款设备型号，常规水冷款和迷你型风冷款。机组采⽤⾼品质洁净型⻛机、洁净型箱体、⼯艺，避免⼆次环境污染

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KRY系列冷热控温控流量系统

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter KRY -20℃～+100℃

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KRY系列多通道水冷机Chiller

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 一拖六系列-20℃~+100℃（温度六组一致，压力/流量可独立…

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KRY变频系列新能源冷水机

适用范围 采⽤变频涡旋压缩机，根据实际需求⾃动调整运转速度，提供所需的制冷能⼒，与传统的定频压缩机相⽐，显著降低能源消耗，提⾼能效性能。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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电机测试用油冷却系统

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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KRY直冷直热机组

适用范围 设备可以满⾜直冷/直热⽤于电池包及整⻋的试验及测试。主要⽤于制冷量和制热量的测试，采⽤变频压缩机，输出可调；采⽤变频⻛机，转速散热量可调；配合⾼精度温度、压⼒、流量传感器以及⾃带软件，可实时计算换热能⼒，⾃动回收加注制冷剂等功能。可满⾜不同⼤⼩电池包。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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LQ系列气体冷却装置

适用范围 应⽤于将⽓体（⽆腐蚀）降温使⽤：如⼲燥压缩空⽓、氮⽓、氩⽓等常温⽓体通⼊到LQ系列设备内部，出来的⽓体即可达到⽬标低温温度，供给需求测试的元件或换热器中。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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AI系列循环风系统

适用范围 运⽤于半导体设备⾼低温测试。电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源；独⽴的制冷循环⻛机组；可连续⻓时间⼯作，⾃动除霜，除霜过程不影响库温； 模块化设计，备⽤机替换容易（只要⼀台备⽤机组即可）；解决频繁开关⻔，蒸发系统结霜问题；蒸发系统除霜过程不影响。构筑⼀套⾼低温恒温室变的简单（根据提供的图纸，像搭积⽊⼀般拼接好箱体，连接好电和⽔，设定好温度即…

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AES系列热流仪

适用范围 射流式⾼低温冲击测试机给芯⽚、模块、集成电路板、电⼦元器件等提供准确且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析、可靠性评估的仪器设备。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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