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接触式芯片测试机 ±0.2℃稳态温控实现原理

±0.2℃稳态温度是接触式芯片测试机核心指标,设备依靠分层 PID 算法、高导热载台、Plunger 双路测温、冷热同步调节结构协同实现长期温度稳定输出,可消除负载波动、环境温变带来的温度偏移,适配芯片精密电学测试、失效分析等对温度一致性要求高的工序。

接触式芯片测试机 ±0.2℃稳态温控实现原理(images 1)

一、确认控温对象

控温对象重点参考方向
晶圆裸片试样长时间恒温、微小温度波动管控
车载封装 IC高低温区间统一稳态标准
功率芯片载片满载工况温度稳定能力
失效分析样品定点恒温无漂移要求
小型分立器件低负载下温度控制精度

二、确认应用工艺流程

芯片定点参数采集、长期老化、失效观测等稳态工艺,对温度漂移容忍度低;温度循环的保温阶段同样需要维持 ±0.2℃区间。设备会实时采集载台与芯片本体两组温度数据,动态调节冷热输出,抵消样品发热、车间室温波动带来的干扰,保证全流程温度一致性。

三、核对核心技术参数

  1. 稳态温度波动指标:±0.2℃;
  2. 双路测温:载台内置传感 + Plunger 样品接触测温;
  3. 分层自适应 PID 温控算法;
  4. 冷热回路同步微调机构;
  5. 高导热铝合金载台热传导系数。

四、匹配对应机型

机型系列温控配置特点适配工况
KSD 常规全系列标准双路测温 ±0.2℃控制通用芯片研发、可靠性测试
KSDR 环保全系列同套温控算法,R744 冷媒绿色、出口半导体产线

五、原理使用注意事项

  1. Plunger 探头需完全贴合芯片表面,减少测温误差影响稳态效果;
  2. 实验区域避开空调直吹、加热设备等外部热源;
  3. 大功率芯片测试时,适当延长温度平衡静置时间;
  4. 按季度校准温度传感器,长期维持温控指标。
接触式芯片测试机 ±0.2℃稳态温控实现原理(images 2)

六、常见问题 FAQ

  1. ±0.2℃是载台温度还是芯片实际温度? 设备通过 Plunger 直接采集芯片表面温度,稳定区间为样品实测温度。
  2. 负载变大后稳态精度会变差吗? 自适应算法可自动调节冷热输出,负载变化后快速回归标准区间。
  3. 环保 KS 机型和 KSD 温控原理一致吗? 两套设备采用完全相同的温控控制逻辑。
  4. 低温、高温点能否保持 ±0.2℃? -75℃~+200℃全温区统一稳态控制标准。
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