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FLTZ 单通道高低温 Chiller 全型号选型指南

行业新闻 半导体chiller00

FLTZ 单通道高低温 Chiller 为独立单循环管路设计,单路输出稳定流量与温控介质,适配单工位半导体、精密设备、实验室等单一负载场景。全系列划分常温、中低温、深冷、高温多款单通道型号,选型需结合工艺温区、热负载、介质类型综合判定,本文梳理完整选型流程与匹配标准。

FLTZ 单通道高低温 Chiller 全型号选型指南(images 1)

一、确认控温对象

控温对象重点参考方向
单台晶圆卡盘单一负载、稳态温度要求、介质纯度
实验室小型测试工装占地面积、参数简易调节
小型真空腔体窄管路、稳定输出压力
单通道清洗单元DI 水专用介质、流量需求
光学精密设备低流量波动、长期恒温

二、确认应用工艺流程

单通道设备仅供给单一温控负载,分为 24 小时量产连续工况、实验室间歇实验两类。量产设备侧重整机连续运行稳定性;实验室机型侧重体积小巧、参数自定义。工艺ji限温度、平均与峰值热负载是选型核心依据,介质区分普通乙二醇、超纯水、氟化液三类单独匹配机型。

三、核对核心技术参数

  1. 单通道独立循环管路,无分流损耗;
  2. 各型号标准温度区间:常温 /+5~40℃、中低温 /-25~90℃、深冷 /-75~+40℃;
  3. 额定制冷、加热功率按负载档位划分;
  4. 标准 3/5bar 两路可选工作压力;
  5. 介质适配:DI 水、乙二醇、氟化液独立机型。
FLTZ 单通道高低温 Chiller 全型号选型指南(images 2)

四、匹配对应机型

单通道机型分类温度区间适配场景
常温单通道款+5℃~+40℃常规晶圆清洗、常温测试
中低温单通道款-25℃~+90℃芯片常规高低温循环
深冷单通道款-75℃~+40℃特种材料低温实验
热气加热单通道款-25℃~+90℃无需辅助电加热工况

五、选型注意事项

  1. 单一工位负载计算峰值热负荷,预留 20% 左右功率余量; 2 DI 水工艺需要选用超纯水专用单通道机型,不可混用普通介质款; 3 狭小实验室优先选紧凑型单通道型号,减少占地; 4 仅单工位使用无需多通道设备,降低采购与运维成本。

六、常见问题 FAQ

  1. 单通道设备后期能否加装分流管路改成多通道? 整机管路结构固定,无法后期改造为多通道结构。
  2. 单通道和多通道控温精度有区别吗? 同系列同精度标准,仅管路分流结构不同。
  3. 深冷单通道机型可以做高温恒温吗? 受加热功率限制,高温工况优先选中低温款。
  4. 单通道设备支持远程 PLC 程序控制吗? 全系标配可编程与通讯功能,配置统一。
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