FLTZ 单通道高低温 Chiller 全型号选型指南
FLTZ 单通道高低温 Chiller 为独立单循环管路设计,单路输出稳定流量与温控介质,适配单工位半导体、精密设备、实验室等单一负载场景。全系列划分常温、中低温、深冷、高温多款单通道型号,选型需结合工艺温区、热负载、介质类型综合判定,本文梳理完整选型流程与匹配标准。

一、确认控温对象
| 控温对象 | 重点参考方向 |
| 单台晶圆卡盘 | 单一负载、稳态温度要求、介质纯度 |
| 实验室小型测试工装 | 占地面积、参数简易调节 |
| 小型真空腔体 | 窄管路、稳定输出压力 |
| 单通道清洗单元 | DI 水专用介质、流量需求 |
| 光学精密设备 | 低流量波动、长期恒温 |
二、确认应用工艺流程
单通道设备仅供给单一温控负载,分为 24 小时量产连续工况、实验室间歇实验两类。量产设备侧重整机连续运行稳定性;实验室机型侧重体积小巧、参数自定义。工艺ji限温度、平均与峰值热负载是选型核心依据,介质区分普通乙二醇、超纯水、氟化液三类单独匹配机型。
三、核对核心技术参数
- 单通道独立循环管路,无分流损耗;
- 各型号标准温度区间:常温 /+5~40℃、中低温 /-25~90℃、深冷 /-75~+40℃;
- 额定制冷、加热功率按负载档位划分;
- 标准 3/5bar 两路可选工作压力;
- 介质适配:DI 水、乙二醇、氟化液独立机型。

四、匹配对应机型
| 单通道机型分类 | 温度区间 | 适配场景 |
| 常温单通道款 | +5℃~+40℃ | 常规晶圆清洗、常温测试 |
| 中低温单通道款 | -25℃~+90℃ | 芯片常规高低温循环 |
| 深冷单通道款 | -75℃~+40℃ | 特种材料低温实验 |
| 热气加热单通道款 | -25℃~+90℃ | 无需辅助电加热工况 |
五、选型注意事项
- 单一工位负载计算峰值热负荷,预留 20% 左右功率余量; 2 DI 水工艺需要选用超纯水专用单通道机型,不可混用普通介质款; 3 狭小实验室优先选紧凑型单通道型号,减少占地; 4 仅单工位使用无需多通道设备,降低采购与运维成本。
六、常见问题 FAQ
- 单通道设备后期能否加装分流管路改成多通道? 整机管路结构固定,无法后期改造为多通道结构。
- 单通道和多通道控温精度有区别吗? 同系列同精度标准,仅管路分流结构不同。
- 深冷单通道机型可以做高温恒温吗? 受加热功率限制,高温工况优先选中低温款。
- 单通道设备支持远程 PLC 程序控制吗? 全系标配可编程与通讯功能,配置统一。
相关推荐
-
循环液回收 + 吹扫:FLTZ Chiller 运维操作指南
0FLTZ Chiller 集成循环液回收与吹扫组合功能,主要用于设备停机检修、介质更换、长期停机封存等场景,可降低介质损耗、简化管路清理流程。
查看全文 -
-
精密加工:FLTZ 高稳定性 Chiller 工况匹配指南
0FLTZ 高稳定性 Chiller 以平稳温度输出为核心,适配精密机械、精密零部件加工等场景,温度波动会直接影响加工精度。工况匹配需围绕温度精度、负载变化、环境干扰等维度开展。
查看全文 -
半导体专用 CHILLER:多品类制冷循环器综合介绍
0半导体行业制程环节繁多,不同工序对温控设备的温度区间、介质类型、控温精度、运行模式要求各有不同。半导体专用 CHILLER 制冷循环器形成多品类产品矩阵,覆盖常温高精度、超纯水、高低温、高温、无压缩机、热电型等系列,可匹配光刻、刻蚀、薄膜沉积、晶圆清洗、芯...
查看全文
冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机










