温控型真空卡盘真空通道与冷却流道出现串腔有哪些表现？

温控真空卡盘同时具备真空吸附回路与介质冷却流道，两套腔体相互独立运行。当腔体分隔结构受损，就会发生串腔现象，会同时干扰真空吸附以及温控换热效果，量产工况下需要及时识别相关现象。

基础处置思路

1、出现以上多项同步现象，立即停止卡盘上机生产，关闭真空供给与温控循环设备，避免介质大量涌入真空管路，扩大污染范围。

2、断开卡盘的真空接口以及冷却介质接口，分别对两套回路做隔离测试。单独给冷却回路加压，观察真空接口位置是否有介质渗出；单独对真空侧抽负压，观察冷却接口是否有气体吸入。以此确认串腔问题。

3、确认串腔之后，不要继续现场维修。该问题大多来自卡盘内部隔层结构损伤，现场无法拆解修复，需要拆卸卡盘送至维修工位做拆解检测。

4、设备停机之后，对相连的真空管路、阀组，还有温控循环回路做清洁吹扫，清除混入的介质，防止残留杂质带来次生故障。

5、维修回装完成之后，分别开展冷却回路保压以及真空保压测试，两套回路核验合格，才可以重新接入产线使用。

FAQ

Q：单一只出现真空不稳，是否就判定为串腔？

A：不能，真空不稳诱因包含密封件、管路堵塞等多种情况，需要同时观察冷却系统状态，两套回路同步异常，才更偏向串腔问题。

Q：串腔故障继续使用会带来什么影响？

A：会造成晶圆污染，同时污染真空泵、阀组等配套部件，增加后续整套附属设备的清理成本。