【客户案例】某企业半导体制造中chiller制冷机应用案例

半导体chiller制冷机适用于工艺制程中准确控制反应腔室温度,是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置。冠亚恒温可为其提供了定制化的半导体Chiller解决方案。该方案采用了制冷技术和智能控制系统,能够根据实际生产需求自动调节制冷量,确保生产环境始终保持在适合温度范围内。
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双通道系列 Dual Channel Chiller
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FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。
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三通道系列 Triple Channel Chiller
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FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。
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面板系列Panel Chiller
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面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等,支持⼤流量⾼负载,确保极端⼯况下持续稳定运⾏;支持冷却⽔动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。
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目前冠亚恒温半导体chiller制冷机按照不同产品类型,包括单通道和双通道,主要有FLTZ变频单通道系列(-100℃~+90℃)、FLTZ变频多通道系列(-45℃~+90℃)、无压缩机系列ETCU换热控温单元(+5℃-+90℃)
半导体行业投入大,制造工序繁多。冠亚恒温半导体chiller制冷机帮助客户在每个环节进行严格的质量把控,提供高稳定性的温度控制,保障产品的稳定性和可靠性。
冠亚恒温拥有超过14年的温度控制经验和与各行业配套的经验,为客户提供标准化和定制化的温度控制产品,结合专业技术知识,确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。
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