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什么是半导体行业用的面板系列Panel Chiller?

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半导体面板Chiller 是用于半导体制造和显示面板(如LCD/OLED)生产中的高精度冷却设备,主要功能是为关键工艺设备提供稳定的温度控制,确保生产质量和效率。

  一、什么是面板系列Panel Chiller?

  半导体行业用的面板系列Panel Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜工艺等,支持大流量高负载,确保严苛工况下持续稳定运行;支持冷却水动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。

  半导体行业用的面板系列Panel Chiller采用变频智能控制,减少无效能耗;全动补液与⽔质管理,缺液时自动补液;符合三通道工艺设计要求,确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。

  二、面板系列Panel Chiller应用工艺

  面板系列Panel Chiller(工业冷水机):一种通过制冷循环系统提供低温冷却水的设备,广泛应用于工业温控。

  半导体面板:可能指两类场景:

  半导体制造:如晶圆加工中的光刻、蚀刻等设备冷却。

  显示面板制造:如LCD/OLED生产中的蒸镀、曝光等环节温控。

  三、面板系列Panel Chiller应用场景

  半导体制造中的Chiller

  作用:冷却光刻机、离子注入机、蚀刻机等,维持设备恒温(±0.1℃精度)。

  需求:超纯水冷却、防腐蚀材料(如不锈钢)、抗振动设计。

  显示面板(面板行业)中的Chiller

  作用:控制蒸镀机、激光切割、OLED蒸镀等设备的温度,避免热变形。

  特点:高能效比、快速降温能力,应对大面积面板均匀冷却需求。

  四、面板系列Panel Chiller技术特点

  高精度温控:采用PID算法或变频技术,控温范围:+15~+30℃℃,控温精度±0.1°C。

  满足需求:支持大流量大负载需求,控温稳定性高

  支持多通道:支持相关工艺三通道需求,升降温速率快

  稳定性:两级闭环节能控制,具备自动补液功能

  五、面板系列Panel Chiller常见类型

  风冷式Chiller:适合水资源有限的区域,散热依赖风扇。

  水冷式Chiller:效率更高,需搭配冷却塔使用。

  超低温Chiller:用于特殊工艺(如某些激光设备),可达-40℃以下。

  六、面板系列Panel Chiller的行业重要性

  半导体:温度波动可能导致晶圆缺陷,影响芯片良率。

  显示面板:温度不均会导致色彩偏差、面板寿命缩短。

  随着科技的不断发展,半导体面板Chiller的性能将不断提升,控温精度和冷却效率将进一步提高。同时,随着新能源、新材料等领域的快速发展,半导体Chiller的应用领域也将不断拓展。

双通道系列 Dual Channel Chiller

双通道系列 Dual Channel Chiller

FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。

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单通道系列 Single Channel Chiller

单通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。

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三通道系列 Triple Channel Chiller

三通道系列 Triple Channel Chiller

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等,支持⼤流量⾼负载,确保极端⼯况下持续稳定运⾏;支持冷却⽔动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。

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