什么是半导体行业用的面板系列Panel Chiller?
半导体面板Chiller 是用于半导体制造和显示面板(如LCD/OLED)生产中的高精度冷却设备,主要功能是为关键工艺设备提供稳定的温度控制,确保生产质量和效率。

一、什么是面板系列Panel Chiller?
半导体行业用的面板系列Panel Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜工艺等,支持大流量高负载,确保严苛工况下持续稳定运行;支持冷却水动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。
半导体行业用的面板系列Panel Chiller采用变频智能控制,减少无效能耗;全动补液与⽔质管理,缺液时自动补液;符合三通道工艺设计要求,确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。
二、面板系列Panel Chiller应用工艺
面板系列Panel Chiller(工业冷水机):一种通过制冷循环系统提供低温冷却水的设备,广泛应用于工业温控。
半导体面板:可能指两类场景:
半导体制造:如晶圆加工中的光刻、蚀刻等设备冷却。
显示面板制造:如LCD/OLED生产中的蒸镀、曝光等环节温控。
三、面板系列Panel Chiller应用场景
半导体制造中的Chiller
作用:冷却光刻机、离子注入机、蚀刻机等,维持设备恒温(±0.1℃精度)。
需求:超纯水冷却、防腐蚀材料(如不锈钢)、抗振动设计。
显示面板(面板行业)中的Chiller
作用:控制蒸镀机、激光切割、OLED蒸镀等设备的温度,避免热变形。
特点:高能效比、快速降温能力,应对大面积面板均匀冷却需求。
四、面板系列Panel Chiller技术特点
高精度温控:采用PID算法或变频技术,控温范围:+15~+30℃℃,控温精度±0.1°C。
满足需求:支持大流量大负载需求,控温稳定性高
支持多通道:支持相关工艺三通道需求,升降温速率快
稳定性:两级闭环节能控制,具备自动补液功能
五、面板系列Panel Chiller常见类型
风冷式Chiller:适合水资源有限的区域,散热依赖风扇。
水冷式Chiller:效率更高,需搭配冷却塔使用。
超低温Chiller:用于特殊工艺(如某些激光设备),可达-40℃以下。
六、面板系列Panel Chiller的行业重要性
半导体:温度波动可能导致晶圆缺陷,影响芯片良率。
显示面板:温度不均会导致色彩偏差、面板寿命缩短。
随着科技的不断发展,半导体面板Chiller的性能将不断提升,控温精度和冷却效率将进一步提高。同时,随着新能源、新材料等领域的快速发展,半导体Chiller的应用领域也将不断拓展。

双通道系列 Dual Channel Chiller
FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。
详细信息
单通道系列 Single Channel Chiller
FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。
详细信息
三通道系列 Triple Channel Chiller
FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。
详细信息
面板系列Panel Chiller
面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等,支持⼤流量⾼负载,确保极端⼯况下持续稳定运⾏;支持冷却⽔动态调节系统,可根据环境温度与设备热负荷,实时调节⽔温。
详细信息相关推荐
-
高低温冷却系统的使用注意事项以及要求
302高低温冷却系统是应用于反应釜需要控温行业使用的,主要帮助客户加快反应釜实验的进度,达到固定的制冷或者加热的温度要求。那么,在使用高低温冷却系统时有哪些注意事项呢? 1、高低温冷却系统不管是风冷式还是水冷式,都需位于一个拥有足够新鲜空气的操作环境,...
查看全文 -
小型冷热冲击试验箱型号短路怎么解决好?
253小型冷热冲击试验箱是制药、化工、汽车、高校中使用比较常见的设备之一,那么小型冷热冲击试验箱在使用中型号比较多,在遇到短路的状况时怎么解决好呢?当小型冷热冲击试验箱的温湿度控制器显示温度异常(超温报警)的话也是造成短路故障的,取下机器右上外壳,检查超...
查看全文 -
冷热循环装置Chiller用于工业生产与实验中
121冷热循环装置chiller是一种通过制冷剂循环来降低环境温度的设备,在工业生产、医药、化工、电子以及科研实验等多个领域发挥着作用。 一、冷热循环装置chiller应用领域 1、工业生产 在工业生产中,冷热循环装置chiller的应用尤为广泛。例如...
查看全文 -
全密闭冷热循环一体机配套发酵罐的控温应用
202在生物行业中,发酵罐温度对发酵过程的影响是多方面的,除直接影响外,温度还影响反应液的理化性质,如反应液的粘度、基质和氧气在反应液中的溶解度,以及发酵的动力学性质和产物的生物合成。 发酵罐的发酵温度不仅适合细菌的生长,还适合代谢产物的合成。理论上,...
查看全文