什么是半导体行业用的面板系列Panel Chiller？

半导体面板Chiller 是用于半导体制造和显示面板（如LCD/OLED）生产中的高精度冷却设备，主要功能是为关键工艺设备提供稳定的温度控制，确保生产质量和效率。

　　一、什么是面板系列Panel Chiller？

　　半导体行业用的面板系列Panel Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜工艺等，支持大流量高负载，确保严苛工况下持续稳定运行；支持冷却水动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。

　　半导体行业用的面板系列Panel Chiller采用变频智能控制，减少无效能耗；全动补液与⽔质管理，缺液时自动补液；符合三通道工艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。

　　二、面板系列Panel Chiller应用工艺

　　面板系列Panel Chiller（工业冷水机）：一种通过制冷循环系统提供低温冷却水的设备，广泛应用于工业温控。

　　半导体面板：可能指两类场景：

　　半导体制造：如晶圆加工中的光刻、蚀刻等设备冷却。

　　显示面板制造：如LCD/OLED生产中的蒸镀、曝光等环节温控。

　　三、面板系列Panel Chiller应用场景

　　半导体制造中的Chiller

　　作用：冷却光刻机、离子注入机、蚀刻机等，维持设备恒温（±0.1℃精度）。

　　需求：超纯水冷却、防腐蚀材料（如不锈钢）、抗振动设计。

　　显示面板（面板行业）中的Chiller

　　作用：控制蒸镀机、激光切割、OLED蒸镀等设备的温度，避免热变形。

　　特点：高能效比、快速降温能力，应对大面积面板均匀冷却需求。

　　四、面板系列Panel Chiller技术特点

　　高精度温控：采用PID算法或变频技术，控温范围:+15~+30℃℃，控温精度±0.1°C。

　　满足需求：支持大流量大负载需求，控温稳定性高

　　支持多通道：支持相关工艺三通道需求，升降温速率快

　　稳定性：两级闭环节能控制，具备自动补液功能

　　五、面板系列Panel Chiller常见类型

　　风冷式Chiller：适合水资源有限的区域，散热依赖风扇。

　　水冷式Chiller：效率更高，需搭配冷却塔使用。

　　超低温Chiller：用于特殊工艺（如某些激光设备），可达-40℃以下。

　　六、面板系列Panel Chiller的行业重要性

　　半导体：温度波动可能导致晶圆缺陷，影响芯片良率。

　　显示面板：温度不均会导致色彩偏差、面板寿命缩短。

　　随着科技的不断发展，半导体面板Chiller的性能将不断提升，控温精度和冷却效率将进一步提高。同时，随着新能源、新材料等领域的快速发展，半导体Chiller的应用领域也将不断拓展。

双通道系列 Dual Channel Chiller

FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。

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单通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

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三通道系列 Triple Channel Chiller

FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，系统支持三个通道独立控温，每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。

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