冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机
双通道系列 Dual Channel Chiller
适用范围
FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。
每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。
加载情况下控温精度可达士0.1℃，可在-45℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。
产品参数
Product Parameter
| 型号 | FLTZ-203W-2T | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |
| 制冷量 | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| 加热能力 | 2kW | 2kW |
| 流量/压力 MAX | 20L/min 0.5MPa | 20L/min 0.5MPa |
| 导热介质接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 环境温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 环境湿度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷却水温度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水流量 | 20L/min | 20L/min |
| 断路器 | 30A | |
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |
| 重量 | 400kg | |
| 外形尺寸 cm | 50*90*160 | |
| 型号 | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| 管道 | 通道1 | 通道2 |
| 温度范围 | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| 温度稳定度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |
| 冷却能力 | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| 加热能力 | 2kW | 6kW |
| 流量/压力 MAX | 17L/min 0.7MPa | 17L/min 0.7MPa |
| 导热介质接口 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 环境温度 | 10～35℃ | 10～35℃ |
| 环境湿度 | 30～70% | 30～70% |
| 冷却水温度 | 15～20℃ | 15～20℃ |
| 冷却水流量 | 40L/min | 20L/min |
| 断路器 | 80A | |
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |
| 重量 | 550kg | |
| 外形尺寸 cm | 60*100*185 | |
| 型号 | FLTZ-203W/2T双系统 | FLTZ-305W/2T 双系统 | FLTZ-406W/2T 双系统 | |||
| 温度范围 | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| 控温精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备） | |||||
| 流量/压力 MAX | 15~45L/min 6bar | |||||
| 制热 | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 2.5kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 制冷量 | 3kW at-15℃ | 3kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 5kW at-15℃ | 2.5kW at -35℃ | 2.5kW at -35℃ |
| 内循环液容积 | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| 膨胀罐容积 | 15L | 25L | 25L | |||
| 导热介质 | 氟化液、防冻液、导热硅油等 | |||||
| 制冷剂 | R404A/ R448 | |||||
| 导热介质接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水接口 | Rc3/4 | |||||
| 冷却水 | 50L/min at20℃ | 60L/min at20℃ | 50L/min at20℃ | |||
| 电源 | 三相220V / 三相400V /三相460V | |||||
| ⼯艺过程温度控制 | 可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温） | |||||
| 型号 | FLTZH-5W/2T | ||
| 介质温度范围 | 40℃～+250℃ | ||
| 控制系统 | PLC控制器 | ||
| 温控点控制模式 | 本体出液口温控控制模式 本体回液口温度控制模式 CHUCK入口温度控制模式（通信） CHUCK回口温度控制模式（通信） CHUCK本体温度控制模式（通信） |
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| 温差控制 | 可设定控制目标控制温度点与本体出液口温度温差 | ||
| 通信协议 | MODBUS RTU 协议 RS485接口，以太网接口 | ||
| 外接入温度反馈 | 通过通信 | ||
| 介质出口温控精度 | ±0.1℃ | ||
| CHUCK温控精度 | ±0.5℃ | ||
| 加热功率 | 5.5kW | 5.5kW | |
| 冷却能力 kW AT | 250 ℃ | 5.5kW | 5.5kW |
| 150 ℃ | 5kW | 5kW | |
| 100 ℃ | 4kW | 4kW | |
| 50 ℃ | 2kW | 2kW | |
| 流量/压力 | 8L/min 4bar | 8L/min 4bar | |
| 操作面板 | 7寸触摸屏 | ||
| 安全防护 | 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护 | ||
| 密闭循环系统 | 整个系统为全密闭系统，高温时不会有油雾、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。 | ||
| 接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | |
| 冷却水接口 | Rc1/2 | ||
| 冷却水流量 | 10L/min max at 25℃ | ||
| 导热介质 | 氟化液 | ||
| 外形尺寸 cm | 45*85*145（可定制化） | ||
| 重量kg | 约40KG | ||
| 电源 | 220V 三相四线制 32A | ||
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑RAL7035 | ||
