FLTRZ二氧化碳系列

适用范围

FLTRZ系列Chiller采用的CO₂（二氧化碳，R744）制冷剂，是契合全球“双碳”战略与环保趋势的gao效制冷设备，以天然CO₂为制冷介质，为半导体行业提供绿色可靠的制冷解决方案。

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

特点一高稳定性、高精度 ±0.005℃

特点二高密闭性，环境适应性高

特点三控温无迟滞，升降温速率快

特点四GWP=1符合各国的制冷剂法规

产品参数

Product Parameter

FLTRZ +10℃〜+25℃

FLTRZ+10℃〜+25℃高精度

FLTRZ-25℃〜90℃

FLTRZ-40℃〜90℃

FLTRZ-70℃〜90℃

FLTRZ-25℃〜90℃双通道

FLTRZ-40℃〜90℃双通道

产品型号		FLTRZ-001W	FLTRZ-003W	FLTRZ-006W	FLTRZ-011W
		FLTRZ-001	FLTRZ-003	FLTRZ-006	FLTRZ-011
介质温度范围		+10℃〜+25℃
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制±0.01℃）
压缩机		压缩机(变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
制冷量AT 10℃		3kW	7kW	13kW	25kW
内循环容积		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容积		10L	10L	15L	25L
制冷剂		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0）
载冷剂		硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI等
进出口接管尺寸		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w）温度20度	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	5600L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷。 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度：25℃； 3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高于32℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度。 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主。 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

产品型号		FLTRZ-001WS	FLTRZ-003WS	FLTRZ-006WS	FLTRZ-011WS
		FLTRZ-001S	FLTRZ-003S	FLTRZ-006S	FLTRZ-011S
介质温度范围		+10℃〜+25℃
导热介质温控精度		±0.005℃（出口温度稳态）
压缩机		压缩机(变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
制冷量AT 10℃		3kW	7kW	13kW	25kW
内循环容积		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容积		10L	10L	15L	25L
制冷剂		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0）
载冷剂		硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯水DI等
进出口接管尺寸		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w）温度20度	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	5600L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷。 2.额定测试条件：进⽔温度：20℃；出⽔温度：25℃； 3.设备环境温度不能高于32℃，提供冷却水温度不能高于32℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度。 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主。 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

产品型号		FLTRZ-201W	FLTRZ-203W	FLTRZ-206W	FLTRZ-211W
介质温度范围		-25℃〜90℃
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制±0.01℃）
压缩机		压缩机(变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷量 kW at	90℃	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	50℃	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	0℃	2.7kW	6.4kW	11.7kW	22.5kW
	-10℃	2.1kW	5.2kW	9.5kW	19kW
	-20℃	1.3kW	3.4kW	6.2kW	12.4kW
内循环容积		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容积		10L	10L	15L	25L
制冷剂		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0）
载冷剂		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出口接管尺寸		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w）温度20度	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	6000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz

产品型号		FLTRZ-401W	FLTRZ-403W	FLTRZ-406W	FLTRZ-411W
介质温度范围		-40℃〜90℃
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制±0.01℃）
压缩机		压缩机(变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷量 kW at	90℃	3.5kW	7.5kW	13kW	25kW
	50℃	3.5kW	7.5kW	13kW	25kW
	0℃	2.7kW	6.4kW	11.7kW	22.5kW
	-15℃	1.5kW	3.7kW	6.8kW	13kW
	-25℃	1kW	2.6kW	5kW	9.6kW
	-35℃	0.2kW	0.7kW	1.5kW	3kW
内循环容积		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容积		10L	10L	15L	25L
制冷剂		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0）
载冷剂		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出口接管尺寸		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w）温度15度	冷却水量	700L/H	1650L/H	3200L/H	6000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷。 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度：20℃； 3.提供冷却水温度不能高于15℃，冷却水温过高将影响设备的最低使用温度。 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主。 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

产品型号		FLTRZ-801W	FLTRZ-803W	FLTRZ-806W	FLTRZ-811W
介质温度范围		-70℃〜90℃
导热介质温控精度		±0.1℃（可定制±0.01℃）
压缩机		压缩机(变频控制)
节流方式		电子膨胀阀
流量		30~60L/min		60~120L/min
制冷量 kW at	90℃	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	20℃	3kW	7.5kW	13kW	25kW
	-55℃	0.6kW	1.8kW	3.5kW	7kW
	-65℃	0.3kW	0.9kW	1.81kW	4kW
内循环容积		4L	5L	8L	12L
膨胀罐容积		10L	10L	15L	25L
制冷剂		R744(二氧化碳)/R508B
载冷剂		硅油、氟化液等
进出口接管尺寸		M24*1.5	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5
⽔冷型（w）温度15度	冷却水量	900L/H	2250L/H	4400L/H	8000L/H
	接管尺寸	M30*1.5	M38*1.5	M38*1.5	M45*1.5
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/ 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷。 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度：20℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高于23℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度。 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主。 5.如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

型号		FLTRZ-D-D3D3W
管道		通道1	通道2
温度范围		-25℃〜+90℃	-25℃〜+90℃
控温精度		±0.1℃（可定制±0.01℃）	±0.1℃（可定制±0.01℃）
制冷量AT -10℃		5.2kW	5.2kW
制冷量AT -20℃		3.4kW	3.4kW
导热介质接口		M30*1.5
⽔冷型（w）温度20度	冷却水量	3300L/H
	接管尺寸	M38*1.5
载冷剂		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷剂		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0）
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		单相220V 50Hz 三相220V 50&60Hz 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷。 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度：20℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高于23℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度。 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主。 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

型号		FLTRZ-D-E6E6W
管道		通道1	通道2
温度范围		-40℃〜+90℃	-40℃〜+90℃
控温精度		±0.1℃（可定制±0.01℃）	±0.1℃（可定制±0.01℃）
制冷量AT -15℃		6.8kW	6.8kW
制冷量AT -35℃		2.2kW	2.2kW
导热介质接口		M38*1.5
⽔冷型（w）温度15度	冷却水量	6000L/H
	接管尺寸	M45*1.5
载冷剂		硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷剂		二氧化碳：GWP（全球变暖潜能值为1）和ODP（臭氧层消耗潜能值为0）
工艺过程温度控制		可根据自创无模型自建树算法和串级算法相结合来控制远程目标温度
标准电源		三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名称含W表示水冷，不含则为风冷。 2.额定测试条件：进⽔温度：15℃；出⽔温度：20℃； 3.设备环境温度不能高于23℃，提供冷却水温度不能高于23℃，环境温度/冷却水温过高将影响设备的最低使用温度。 4.此表数据仅供参考，请以机组铭牌参数为主。 5.支持多通道定制，如需特殊⾮标品定制，请与我司联系。

行业应用

APPLICATION

半导体FAB工艺过程控温解决方案

半导体制造是一个对环境要求极高的过程，许多工艺步骤对温度非常敏感。

精确的温度控制能够确保沉积的薄膜厚度均匀、成分准确，从而提高芯片的性能和良率。

了解更多

半导体封测工艺过程控温解决方案

半导体封测工艺是半导体生产流程中的关键环节，包括晶圆测试、芯片封装和封装后测试。这一流程不仅要求高度的精确性和可靠性，还需要对温度进行严格控制，以确保产品的质量和性能。

了解更多

常见问题与解答 FREQUENTLY ASKED QUESTION

问：什么是二氧化碳冷水机？

答：CO₂ 冷却器是一种利用二氧化碳（R744）作为天然制冷剂的冷却系统。它符合多个国家的环bao要求。

问：为什么二氧化碳制冷剂是环bao的?

答：因为它具有全球变暖潜势 (GWP) 为 1 和臭氧层耗竭潜势 (ODP) 为 0，这意味着它对全球变暖或臭氧层耗竭几乎没有影响。

问：哪些行业应用co2冷水机？

答：半导体、医药化工，新能源等行业。无锡冠亚恒温提供针对特定工业应用的定制冷水机解决方案。

问：二氧化碳冷却机的温度范围是多少?

答：这取决于系统的具体设计，它们通常用于中低温应用。LNEYA 目前提供温度范围从低至 -70°C 到 90°C。

问：与传统制冷剂相比，CO2有哪些优势?

答：与HFC制冷剂相比，CO₂的环境影响显著更低。

问：二氧化碳冷却器安全吗?

答：是的，只要正确操作，二氧化碳无毒且不可燃，这也有助于降低成本。

更多问题，请咨询400-100-3173

产品推荐

Recommendation

Chiller高精度冷热循环器

Chiller高精度制冷循环器

制冷加热动态控温系统

Chiller气体控温系统

Chiller温度|流量|压力控制系统

Chiller直冷控温机组

TCU换热控温系统

加热循环器

Chamber试验箱

VOCs冷凝回收装置

FLTRZ二氧化碳系列

常见问题与解答 FREQUENTLY ASKED QUESTION

FLS常温高精度系列

FLTZH高温系列

FLTZ-U超纯水温控系列

FLTRZ二氧化碳系列

社交媒体：

产品中心

行业应用

新闻中心

关于冠亚

微信服务号