冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机
产品特点
Product Features
产品参数
Product Parameter
| 温度范围 | -70℃~200℃（可以定制各种温度范围） |
| 温度均匀性 | 土0.5℃ |
| 加热速率 | -55℃至+25℃：12 分钟 -40℃至+25℃：10 分钟 +25℃至+150℃：20 分钟 +25℃至+200℃：28 分钟 +25℃至+300℃：40 分钟 |
| 冷却速率 | +150℃至+25℃：25 分钟 +200℃至+25℃：30 分钟 +300℃至+25℃：40 分钟 +25℃至0℃：15 分钟 +25℃至-40℃：35 分钟 +25℃至-55℃：65 分钟 |
| 冷却方式 | 直冷系统/液冷系统/气冷系统 |
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确FII调节控温 |
| 晶圆载板 | 镀镍(金/非导电)，与卡盘柔性连接，方便更换，载板平面度3μm≤10μm |
| 晶圆吸附类型 | 真空吸附 |
| 卡盘尺寸 | φ330*58mm |
| 电源220V 50HZ | 200~230V AC50/60HZ 16A max |
| 通讯方式 | ModbusRTU协议,RS485接口，选配CAN通信总线、以太网接口TCP/IP协议 |
