晶圆制程低电导率温控：超纯水温控系列解析

晶圆制程中，低电导率温控是保障产品质量的关键，超纯水的电导率与温度稳定性直接影响晶圆表面洁净度与电气性能。

超纯水温控系列设备聚焦低电导率介质控温需求，适配晶圆清洗、蚀刻、沉积等多道工序。设备核心优势在于低电导率介质维持能力，以 DI 水为循环介质，电导率稳定控制在 10-18MΩ・cm，满足晶圆制程对低离子污染的要求。

高电导率介质易引发电化学腐蚀，损伤晶圆电路，低电导率可有xiao规避该风险。温度控制范围 + 15℃至 + 40℃，控温jing度 ±0.1℃，可定制更高jing度。晶圆制程中，不同工序对温度需求不同，如清洗工序需 20-25℃稳定水温，沉积工序需jing准控温保障薄膜均匀性，设备可灵活适配。

系统配置上，采用全密闭管路设计，减少外界杂质混入；内置多级jing密过滤器，持续去除介质中的颗粒与离子，维持水质稳定；管路采用低析出材质，避免材质溶出导致电导率上升。运行模式支持冲洗型与循环型，适配不同制程场景。冲洗型适合对洁净度要求ji高的关键工序，循环型适合连续量产工序，降低运行成本。

1. loop/2-loop 通道设计，可同时为不同工位提供独立低电导率温控。设备具备完善的水质与温度监测功能，实时监控电导率、温度、流量等参数，异常时自动报jing。支持数据记录与导出，便于制程追溯与工艺优化，契合晶圆制程的jing细化管控需求。

超纯水温控系列设备通过低电导率维持、jing准温控与稳定运行，为晶圆制程提供可靠的温控解决方案，保障产品一致性与良率。

LT系列低温冷冻机

适用范围 冠亚恒温低温冷冻机温度范围从-150℃到-5℃，采用二次过冷技术，制冷迅速。产品可靠性强，性能优异。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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LTZ变频系列低温冷冻机组

适用范围 LTZ系列低温冷冻机采用变频技术，节约能耗，控温范围：-115℃～30℃，控温精度：±0.5℃。变频压缩机组通过内置变频装置随时根据⽤⼾冷热负荷需求改变直流压缩机的运⾏转速，从⽽避免压缩机与电加热满负荷对抗，保持机组稳定的⼯作状态，达到节能效果。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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HLTZ系列氢气换热制冷机组

适用范围 氢气经过内高压换热器，制冷系统通过制冷剂直接与氢气换热，实现换热控温效率高；设备本体采用正压防爆系统，正压系统内置有恒温器，确保系统环境维持在常温。相对于传统防冻液或其他流体与氢气换热，本设备采用介质为制冷系统制冷剂（相变热），能效更高；内置有可再生干燥机，确保正压系统内部干燥，没有冷凝水；可与耐高压微通道换热器或壳管换热器（99Mpa)组合…

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LG螺杆机组系列

适用范围 本系列设备适⽤于各类化⼯、医药、机械等领域⽣产⼯艺冷源，可提供-110℃~30℃冷冻介质，可作为冰蓄冷、低温送⻛及其它⽣产⼯艺所要求的⼯艺冷源。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter LG 5℃~30℃

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2度纯水DI制冷控温机组

适用范围 应用： 特别适合生产过程中2℃~5℃DI水需求的应该场景。 常温DI水进入控温机组，出需求目标温度DI水，解决了水在5℃以内控温容易结冻问题。 设备跟据不同的进水量及温度自动调节制冷系统温度及冷量达到目标需求的DI温度。 采用变频调节，进水流量不稳定也可较好的调节输出，达到较高的控温精度要求。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter …

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LTZ变频M系列

LTZ变频M系列，适合应⽤于⽬标控温对象已经有蓄冷罐、循环泵，通过循环泵将介质输送⼊LTZ
M系列制冷控温机组，构成⼀个闭合循环制冷系统。

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LTZ变频带加热系列

LTZ变频带加热系列，产品支持加热功能，控温范围： -40℃～+90℃，控温精度：±0.3℃。变频机组采⽤先进的变频技术，精确控制压缩和⻛机运⾏转速，通过电⼦膨胀阀智能调节，快速制冷。

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LT-800 桌面款制冷循环器

桌面款制冷循环器使用面积小，制冷效率快，有效提升实验室及小型实验台使用操作效率，高可靠性的产品解决用户需求。

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