超纯水温控系列的控温原理与维护有哪些？

2026年4月17日行业新闻超纯水温控系列10

冠亚恒温研发的CHILLER超纯水温控系列，由制冷循环与介质循环两大核心系统构成，以DIWATER为循环介质，为半导体晶圆、光伏电池、液晶面板等工艺提供稳定的超纯水温控服务，温度范围+15℃~+40℃，控温精度±0.1℃，以下结合控温原理与维护要点展开说明。

控温原理方面，设备的制冷循环与介质循环相互配合，实现对目标设备的温度控制。制冷系统中，压缩机排出高温高压的制冷剂蒸汽，经冷凝器将热量传递给外界，制冷剂冷凝为液体后，经过节流阀降温降压，成为低温低压的液态制冷剂，在蒸发器中与介质循环系统的水进行换热，吸收介质热量，使制冷剂蒸发为气态，再回到压缩机，完成制冷循环。介质循环分为冲洗型与循环型两种模式，冲洗型循环中，超纯水通过循环泵输送至目标设备换热，再回到设备，完成循环；循环型循环中，介质经水箱补液后，通过循环泵输送至目标设备，换热后的介质回到设备，形成闭环循环。设备采用智能算法控制，实现系统动态温度快速响应，控制精度稳定，温度跟随性良好，可减少工艺过程中的温度波动。

维护要点上，日常需按规范流程操作，保障设备稳定运行。开机前，检查电源连接情况，确认220VAC±10%供电正常，检查超纯水的电导率，确保介质电阻率符合10~18MΩ・cm的要求，避免杂质离子污染设备。运行过程中，实时监测介质流量、压力与温度，介质流量需保持在45LPM~30LPM区间，压力控制在0.43MPa~0.45MPa，观察设备有无异响、漏液情况，异常时及时停机排查。

定期维护需按周期开展，每3个月检查内部过滤器，清理杂质，防止水垢生成，降低游离离子污染风险；每6个月对蒸发器、冷凝器进行清洗，去除表面污垢，提升换热效率；每12个月检查循环泵、压缩机的运行状态，更换润滑油，保障设备核心部件正常工作。停机后，关闭电源与介质阀门，排空设备内部介质，清理设备表面污渍，做好运行记录，注明运行时长、参数及设备状态。此外，设备具备过载保护、电源保护、液位保护等功能，维护时需定期检查保护装置，确保其正常运行，避免设备故障。