超纯水温控系列：CHILLER 制冷循环器介绍

2026年5月11日行业新闻半导体chiller280

冠亚恒温小编为大家介绍超纯水温控系列 CHILLER 制冷循环器。该系列设备专为洁净制程设计，以超纯水为循环介质，通过jing密的制冷循环与介质换热系统，实现对目标设备的稳定控温，适配半导体、光伏、面板等行业对介质洁净度与控温jing度的双重要求。

设备由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成，两大系统协同运作，实现对目标设备的jing准温度控制。温度范围稳定在 + 15℃至 + 40℃，可满足洁净制程常规温控需求，控温jing度 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高jing度配置，减少温度波动对制程的影响。冷却能力覆盖 0.6kW 至 12.5kW，加热能力 0.6kW 至 12.5kW，可根据不同制程的冷热负荷需求选择适配型号。

介质适配方面，设备采用 DI WATER 为循环介质，电导率控制在 10-18MΩ・cm，满足洁净制程对低电导率的要求，防止电流泄漏，避免对jing密电子元件或加工过程造成电化学干扰。循环方式分为冲洗型与循环型两种，可根据制程需求灵活选择，冲洗型直接将处理后的超纯水输送至目标设备，换热后排出；循环型则形成闭环循环，减少介质损耗。

设备采用智能算法控制，实现系统动态温度快速响应，控制jing度稳定，温度跟随性良好。内置过滤器能有xiao防止水垢生成，从源头降低游离离子污染，保护冷却系统核心部件，提升运行效率，同时降低冷却水电导率，保障制程洁净度。

操作与安全配置适配工业场景，采用彩色触摸屏，可直观设置温度参数、查看运行状态、记录数据，便于制程追溯。安全防护包含压缩机、循环泵、加热器等热过载保护，电源过电流、欠压、缺相保护，低流量、低液位保护等，保障设备运行安全。通讯支持 MODBUS RTU/TCP 协议或 ETHERCAT、LONWORKS 等，可接入产线自动化系统，实现远程监控与参数调整。

超纯水温控系列 CHILLER 制冷循环器以洁净介质、jing准控温与稳定运行的特性，为半导体、光伏、面板等洁净制程提供可靠的温控支持。