半导体制程洁净温控：超纯水温控设备说明

半导体制程对环境洁净度与温控jing度要求严苛，超纯水温控设备作为洁净制程的核心温控装置，以超纯水为介质，实现对制程设备的jing准控温，同时保障介质洁净度，适配晶圆制造、芯片加工等环节的温控需求。

设备温度范围为 + 15℃至 + 40℃，控温jing度 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高jing度配置，满足半导体制程对温度稳定性的要求，减少温度波动对芯片性能的影响。冷却能力与加热能力可根据制程需求选择，适配不同制程设备的冷热负荷，保障控温效果稳定。

介质采用超纯水，电导率控制在 10-18MΩ・cm，低电导率特性可防止电流泄漏，避免对半导体晶圆、芯片等jing密元件造成电化学干扰，同时内置过滤器可防止水垢生成，降低游离离子污染，保障介质洁净度，适配半导体洁净制程的要求。

循环方式分为冲洗型与循环型，可根据制程需求选择。冲洗型适用于单工位制程，直接将处理后的超纯水输送至目标设备，换热后排出；循环型则形成闭环循环，减少介质损耗，适配多工位或连续制程场景。设备支持 1-loop 与 2-loop 独立通道设计，可同时为不同制程设备提供独立控温，互不干扰，提升设备利用率。

控制方面采用智能算法，实现动态温度快速响应，温度跟随性良好，可根据制程负载变化自动调节制冷与加热功率，保障温度稳定。设备配备完善的安全防护功能，实时监测运行状态，异常时自动报jing并停机，保障制程安全。通讯接口支持多种协议，可接入半导体产线自动化系统，实现远程监控与数据追溯。

超纯水温控设备以洁净介质、jing准控温与多场景适配的特性，为半导体制程提供稳定、可靠的温控支持，助力半导体行业洁净制程的稳定运行。

LT系列低温冷冻机

适用范围 冠亚恒温低温冷冻机温度范围从-150℃到-5℃，采用二次过冷技术，制冷迅速。产品可靠性强，性能优异。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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LTZ变频系列低温冷冻机组

适用范围 LTZ系列低温冷冻机采用变频技术，节约能耗，控温范围：-115℃～30℃，控温精度：±0.5℃。变频压缩机组通过内置变频装置随时根据⽤⼾冷热负荷需求改变直流压缩机的运⾏转速，从⽽避免压缩机与电加热满负荷对抗，保持机组稳定的⼯作状态，达到节能效果。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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HLTZ系列氢气换热制冷机组

适用范围 氢气经过内高压换热器，制冷系统通过制冷剂直接与氢气换热，实现换热控温效率高；设备本体采用正压防爆系统，正压系统内置有恒温器，确保系统环境维持在常温。相对于传统防冻液或其他流体与氢气换热，本设备采用介质为制冷系统制冷剂（相变热），能效更高；内置有可再生干燥机，确保正压系统内部干燥，没有冷凝水；可与耐高压微通道换热器或壳管换热器（99Mpa)组合…

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LG螺杆机组系列

适用范围 本系列设备适⽤于各类化⼯、医药、机械等领域⽣产⼯艺冷源，可提供-110℃~30℃冷冻介质，可作为冰蓄冷、低温送⻛及其它⽣产⼯艺所要求的⼯艺冷源。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter LG 5℃~30℃

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2度纯水DI制冷控温机组

适用范围 应用： 特别适合生产过程中2℃~5℃DI水需求的应该场景。 常温DI水进入控温机组，出需求目标温度DI水，解决了水在5℃以内控温容易结冻问题。 设备跟据不同的进水量及温度自动调节制冷系统温度及冷量达到目标需求的DI温度。 采用变频调节，进水流量不稳定也可较好的调节输出，达到较高的控温精度要求。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter …

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LTZ变频M系列

LTZ变频M系列，适合应⽤于⽬标控温对象已经有蓄冷罐、循环泵，通过循环泵将介质输送⼊LTZ
M系列制冷控温机组，构成⼀个闭合循环制冷系统。

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LTZ变频带加热系列

LTZ变频带加热系列，产品支持加热功能，控温范围： -40℃～+90℃，控温精度：±0.3℃。变频机组采⽤先进的变频技术，精确控制压缩和⻛机运⾏转速，通过电⼦膨胀阀智能调节，快速制冷。

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LT-800 桌面款制冷循环器

桌面款制冷循环器使用面积小，制冷效率快，有效提升实验室及小型实验台使用操作效率，高可靠性的产品解决用户需求。

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