半导体工艺气体控温：CHILLER 制冷系列原理介绍

在半导体制造工艺中，气体控温是保障制程稳定性的基础环节，不同工艺环节对气源温度有着明确要求，冠亚研发的CHILLER气体制冷系列，专为半导体工艺气体控温设计，依托成熟的制冷循环与换热技术，实现对工艺气体的jing准降温与恒温控制，以下详细介绍其核心运行原理。

冠亚CHILLER气体制冷系列整体运行基于蒸汽压缩制冷循环与气体间接换热原理，主要由制冷系统、气体换热系统、智能控制系统三大核心模块组成，各模块协同运作，确保输出气源温度稳定、流量均匀，适配半导体工艺的严苛要求。

制冷系统是控温核心，采用蒸汽压缩式制冷结构，主要包含压缩机、冷凝器、节流部件、蒸发器四大关键部件。运行时，压缩机将气态制冷剂压缩为高温高压状态，输送至冷凝器，通过风冷或水冷方式将制冷剂中的热量散发至外界，使制冷剂冷凝为液态；液态制冷剂经节流部件降压降温，转变为低温低压的液态介质，进入蒸发器内部流道。

气体换热环节采用间接换热模式，半导体工艺所需的干燥压缩空气、氮气等无腐蚀性气体，经前置过滤装置去除杂质后，进入蒸发器的气体腔体，与流道内的低温制冷剂完成热量交换。待处理气体的热量被制冷剂吸收，温度逐步降至工艺设定区间，换热完成后的低温气体，经稳压装置调节流量与压力后，输送至半导体工艺工位。

智能控制系统采用PLC控制器，搭载PID调控算法，可实时采集出气温度、气体流量、系统压力等运行参数，根据工艺设定温度自动调节压缩机运行频率、制冷剂流通量，确保气源温度波动控制在合理范围。同时，系统配备可视化操作界面，可实时显示运行数据、温度曲线，支持参数设定与数据留存，便于工艺追溯与设备运维。

此外，设备内置多重防护机制，包含压力监控、过载保护、化霜控制等功能，可规避管路压力异常、结霜堵塞等问题，保障设备长时间连续运行，适配半导体产线24小时不间断生产的需求，为半导体工艺气体控温提供稳定可靠的技术支撑。

AET高速光模块热流仪

适用范围 运用于半导体测试平台的高低温测试。电子设备高温低温恒温测试冷热源。 非接触测试:避免机械接触对模块的压力，更适合某些精密或特殊封装模块;热场均匀:流动空气包裹模块，温度梯度小;无磨损风险:没有接触式TEC的反复压接磨损问题;设备小5，方便移动，插电即用;可与测试机进行高度交互，可控工件Tc和Tj(需给入芯片温度信号) 产品特点 Product Features 产…

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精密恒温恒湿机组

冠亚恒温LNEYA精密恒温恒湿机组，超精密空调是⼀种能精准控制环境温、湿度的空⽓调节设备，提供两款设备型号，常规水冷款和迷你型风冷款。机组采⽤⾼品质洁净型⻛机、洁净型箱体、⼯艺，避免⼆次环境污染

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KRY系列冷热控温控流量系统

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter KRY -20℃～+100℃

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KRY系列多通道水冷机Chiller

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 一拖六系列-20℃~+100℃（温度六组一致，压力/流量可独立…

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KRY变频系列新能源冷水机

适用范围 采⽤变频涡旋压缩机，根据实际需求⾃动调整运转速度，提供所需的制冷能⼒，与传统的定频压缩机相⽐，显著降低能源消耗，提⾼能效性能。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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电机测试用油冷却系统

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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KRY直冷直热机组

适用范围 设备可以满⾜直冷/直热⽤于电池包及整⻋的试验及测试。主要⽤于制冷量和制热量的测试，采⽤变频压缩机，输出可调；采⽤变频⻛机，转速散热量可调；配合⾼精度温度、压⼒、流量传感器以及⾃带软件，可实时计算换热能⼒，⾃动回收加注制冷剂等功能。可满⾜不同⼤⼩电池包。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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LQ系列气体冷却装置

适用范围 应⽤于将⽓体（⽆腐蚀）降温使⽤：如⼲燥压缩空⽓、氮⽓、氩⽓等常温⽓体通⼊到LQ系列设备内部，出来的⽓体即可达到⽬标低温温度，供给需求测试的元件或换热器中。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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AI系列循环风系统

适用范围 运⽤于半导体设备⾼低温测试。电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源；独⽴的制冷循环⻛机组；可连续⻓时间⼯作，⾃动除霜，除霜过程不影响库温； 模块化设计，备⽤机替换容易（只要⼀台备⽤机组即可）；解决频繁开关⻔，蒸发系统结霜问题；蒸发系统除霜过程不影响。构筑⼀套⾼低温恒温室变的简单（根据提供的图纸，像搭积⽊⼀般拼接好箱体，连接好电和⽔，设定好温度即…

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AES系列热流仪

适用范围 射流式⾼低温冲击测试机给芯⽚、模块、集成电路板、电⼦元器件等提供准确且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析、可靠性评估的仪器设备。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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