DR系列气体干燥器在半导体行业的应用与技术特点有哪些？

冠亚研发的DR系列气体干燥器，可实现-70℃常压lu点干燥，适用于需要实现低lu点干燥和洁净的分布式气源，在半导体行业有明确的应用场景与技术特性。

一、核心技术特点

DR系列由多组灌装干燥剂的滤芯组成，气态压缩空气交替流经多组滤芯，空气中的水分会聚集在干燥剂表面，当过滤过程达到预设持续时间后，气流切换至其他滤芯，部分气流用于再生已吸附水分的滤芯，冲放气流释放至大气，设备使用寿命约为15000个工作小时。设备外部配置过滤等级0.01μm的预过滤器，可过滤油分和颗粒物，避免干燥器被尘埃和油分污染。

该系列包含DR-500、DR-1000、DR-2000三款型号，压力范围统一为0.6~1.0Mpa，常压lu点温度均为-70℃，处理气量分别为650L/min、1300L/min、2500L/min，成品气量对应500L/min、1000L/min、2000L/min，可匹配不同流量需求的工况。接口尺寸适配Φ12管、Φ16管，电源功率为220V15W，结构紧凑，适配工业现场安装空间。

二、在半导体行业的应用

在半导体行业中，DR系列气体干燥器主要用于传感器、半导体材料、薄膜等制程的气源处理。半导体生产对压缩空气的洁净度、lu点要求较高，该设备可将压缩空气干燥至-70℃常压lu点，避免水分对半导体器件、薄膜沉积造成影响，保障制程环境的干燥度。

设备可用于分布式气源供应，为半导体生产中的多个工位提供稳定干燥的压缩空气，搭配预过滤器可去除气源中的油分与颗粒物，避免杂质污染半导体器件。同时，该设备也可配套半导体测试、封装等环节的气动系统，保障气动元件的稳定运行，避免水分导致的元件失效。此外，DR系列还可适配半导体行业配套的喷涂、粉体运输等工艺，为相关工序提供干燥气源。

AET高速光模块热流仪

适用范围 运用于半导体测试平台的高低温测试。电子设备高温低温恒温测试冷热源。 非接触测试:避免机械接触对模块的压力，更适合某些精密或特殊封装模块;热场均匀:流动空气包裹模块，温度梯度小;无磨损风险:没有接触式TEC的反复压接磨损问题;设备小5，方便移动，插电即用;可与测试机进行高度交互，可控工件Tc和Tj(需给入芯片温度信号) 产品特点 Product Features 产…

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精密恒温恒湿机组

冠亚恒温LNEYA精密恒温恒湿机组，超精密空调是⼀种能精准控制环境温、湿度的空⽓调节设备，提供两款设备型号，常规水冷款和迷你型风冷款。机组采⽤⾼品质洁净型⻛机、洁净型箱体、⼯艺，避免⼆次环境污染

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KRY系列冷热控温控流量系统

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter KRY -20℃～+100℃

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KRY系列多通道水冷机Chiller

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 一拖六系列-20℃~+100℃（温度六组一致，压力/流量可独立…

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KRY变频系列新能源冷水机

适用范围 采⽤变频涡旋压缩机，根据实际需求⾃动调整运转速度，提供所需的制冷能⼒，与传统的定频压缩机相⽐，显著降低能源消耗，提⾼能效性能。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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电机测试用油冷却系统

适用范围 测试的物件连接到一个测试平台适配器上，部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线，并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。（可扩展到150度）进行耐受性测试时，通常会循环进行。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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KRY直冷直热机组

适用范围 设备可以满⾜直冷/直热⽤于电池包及整⻋的试验及测试。主要⽤于制冷量和制热量的测试，采⽤变频压缩机，输出可调；采⽤变频⻛机，转速散热量可调；配合⾼精度温度、压⼒、流量传感器以及⾃带软件，可实时计算换热能⼒，⾃动回收加注制冷剂等功能。可满⾜不同⼤⼩电池包。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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LQ系列气体冷却装置

适用范围 应⽤于将⽓体（⽆腐蚀）降温使⽤：如⼲燥压缩空⽓、氮⽓、氩⽓等常温⽓体通⼊到LQ系列设备内部，出来的⽓体即可达到⽬标低温温度，供给需求测试的元件或换热器中。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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AI系列循环风系统

适用范围 运⽤于半导体设备⾼低温测试。电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源；独⽴的制冷循环⻛机组；可连续⻓时间⼯作，⾃动除霜，除霜过程不影响库温； 模块化设计，备⽤机替换容易（只要⼀台备⽤机组即可）；解决频繁开关⻔，蒸发系统结霜问题；蒸发系统除霜过程不影响。构筑⼀套⾼低温恒温室变的简单（根据提供的图纸，像搭积⽊⼀般拼接好箱体，连接好电和⽔，设定好温度即…

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AES系列热流仪

适用范围 射流式⾼低温冲击测试机给芯⽚、模块、集成电路板、电⼦元器件等提供准确且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析、可靠性评估的仪器设备。 产品特点 Product Features  产品参数 Product Parameter

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