面板冷水机panel chiller:玻璃基板温度控制的工业级温控解决方案
150面板冷水机panel chiller以实现准确温度控制为目标,集成多种关键技术,其核心原理围绕制冷循环、温度控制算法及系统集成展开。主要应用于刻蚀、蒸镀、镀膜等⼯艺。玻璃基板chiller设备控温范围:+15~+30℃,控温精度±0.05℃,高扬程设计⽀持⼤流量⾼负载,确保极端⼯...
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面板冷水机panel chiller以实现准确温度控制为目标,集成多种关键技术,其核心原理围绕制冷循环、温度控制算法及系统集成展开。主要应用于刻蚀、蒸镀、镀膜等⼯艺。玻璃基板chiller设备控温范围:+15~+30℃,控温精度±0.05℃,高扬程设计⽀持⼤流量⾼负载,确保极端⼯...
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