薄晶圆测试场景选用半导体真空卡盘有哪些选型要点?
0薄晶圆具备厚度小、刚性弱,在外力作用下容易发生翘曲变形的特点,在电性测试过程中,晶圆形变会直接改变探针和焊盘接触状态,造成测试数据异常。
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薄晶圆具备厚度小、刚性弱,在外力作用下容易发生翘曲变形的特点,在电性测试过程中,晶圆形变会直接改变探针和焊盘接触状态,造成测试数据异常。
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