面板直冷机在半导体行业的选型技术指南

2025年7月17日 7

在半导体制造及测试环节，面板直冷机作为温控设备之一，其选型合理性直接影响工艺稳定性与设备运行效率。流量、压力与温度作为三大核心参数，相互关联且共同决定设备适配性。选型过程中需结合具体应用场景，对三者进行系统性分析，确保设备性能满足工艺需求。

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