面板制程宽温域控温：FLTZ -25~+90℃系列应用

2026年5月7日行业新闻 fltz-25~+90℃160

冠亚恒温小编为大家介绍 FLTZ -25~+90℃系列设备在面板制程中的宽温域控温应用。面板制程涵盖薄膜沉积、刻蚀、真空镀膜、热量转移等多个环节，不同工艺环节对温度的需求差异较大，FLTZ -25~+90℃系列设备可实现 – 25℃至 + 90℃的宽温域控温，适配面板制程多环节的温控需求。

FLTZ -25~+90℃系列设备的温度范围为 – 25℃~+90℃，控制模式支持循环液出口温度控制与工件负载温度控制（选配），出口控温精度稳定在 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃控温精度，能够满足面板制程不同工艺环节的温度稳定性要求。制冷量 @-15℃覆盖 1kW 至 12kW，制冷量 @-20℃覆盖 0.8kW 至 10kW，加热能力从 1.5kW 至 7.5kW，可根据不同工艺环节的冷热负荷需求匹配对应型号，适配冷热负荷波动的场景。

介质适配方面，设备支持氟化液、乙二醇水溶液等介质，制冷剂采用 R404A，适配 – 25℃~+90℃的温度区间需求。介质流量压力为 15LPM@3bar 至 30LPM@5bar，介质接口涵盖 Rc1/2、Rc3/4 等规格，冷却水接口包括 Rc1/2、Rc1/4 等，冷却水流量从 1.1m³/h 到 8m³/h 不等，膨胀罐容积为 10L 至 35L，可匹配面板制程设备的管路与水路布局需求。

在面板制程应用中，该系列设备可适配薄膜沉积环节的低温控温、刻蚀环节的常温控温、真空镀膜环节的高温控温等不同需求，实现一台设备覆盖多环节温控的效果，减少设备数量与场地占用。设备采用动态控温技术，可根据工艺温度变化自动调节制冷与加热功率，减少温度过冲，确保温度控制平稳，适配面板制程对工艺一致性的要求。

安全与通讯配置上，设备具备完善的安全保护功能，可接入产线自动化控制系统，实现远程监控与参数调整，适配面板产线的自动化生产需求。FLTZ -25~+90℃系列设备以宽温域控温能力，为面板制程提供了多环节适配的温控解决方案。