工业常规冷却：FLTZ +5~+40℃制冷循环器介绍

工业生产中，常规冷却场景集中在电子制造、jing密加工、设备散热等环节，温度需求稳定在 + 5℃至 + 40℃区间。FLTZ +5~+40℃制冷循环器，作为适配工业常规冷却的单通道设备，以稳定控温、低能耗、易维护的特性，满足多数工业场景的基础冷却需求。

该设备温度范围为 + 5℃至 + 40℃，可扩展至 + 90℃，覆盖工业常规冷却全场景。出口控温精度 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高精度配置，减少温度波动对工业产品精度的影响。制冷量 @20℃覆盖 2.5kW 至 38kW，加热能力 0.5kW 至 7.5kW，可适配不同热负荷的工业设备，如注塑模具、加工中心、测试仪器等。

结构采用全密闭管道式设计，搭配变频压缩机与磁力驱动泵，降低介质挥发损耗的同时，提升热量利用率。循环介质可选 DI 水、乙二醇水溶液或氟化液，DI 水适配微电子工业低电导率需求，乙二醇水溶液适配低温防冻结场景。介质流量 15LPM 至 30LPM，压力 0.3MPa 至 0.5MPa，可匹配工业设备的管路接口与流量需求。

在工业常规冷却应用中，该设备可用于电子元件封装冷却、jing密机械加工散热、注塑模具控温、电源模块老化测试、实验室仪器冷却等。采用 PID 控制算法，控温响应快速，温度波动小，保障工业生产的连续性与稳定性。变频压缩机设计，可根据设备热负荷自动调节运行功率，降低能耗，适配工业长时间连续运行需求。

操作界面采用 7 寸彩色触摸屏，简洁直观，支持温度参数设置、运行状态显示、数据记录与导出，便于工业生产的可追溯管理。安全防护包含过流保护、欠压保护、低液位保护、过热保护等，实时监测设备运行状态，异常时自动报jing并停机，保障工业设备与生产安全。通讯支持 MODBUS RTU 协议，可接入工业自动化系统，实现远程监控与参数调整。

FLS常温高精度系列

适用范围 应用： 原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。 核心技术与优势： 1.高精度控温： 采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.005℃，适用于高精密制造场景。 2.多场景适配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用。 产品特点 Product Features …

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FLTZH高温系列

适用范围 应用： CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求。 核心技术与优势： 1、高温范围宽：出口温度最高可达300℃。 2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度±0.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性。 3、节约能耗:采用变频自适应调节、软启动等技术，实现…

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FLTZ-U超纯水温控系列

适用范围 Chiller是由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成，通过两个循环通道间的介质gao 效换热，实现对目标设备的精准、稳定温度控制。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 原理：制冷剂在系统中循环，通过压缩、冷凝、节流和蒸发四个过程实现制冷； 同时，载冷剂（介质）在独立的循环管路中流动，通过板换换热器将冷量持续…

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FLTRZ二氧化碳系列

适用范围 FLTRZ系列Chiller采用的CO₂（二氧化碳，R744）制冷剂，是契合全球“双碳”战略与huan 保趋势的gao 效制冷设备，以天然CO₂为制冷介质，为半导体行业提供绿色可靠的制冷解决方案。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter

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氟化液回收装置

适用范围 氟化液回收系统采用一体式风冷设计。采用品牌的压缩机、冷凝器、蒸发器等部件，形成制冷系统提供冷源，蒸发器与客户端氟化液循环系统进行换热，对氟化液进行冷凝后回收。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 控制系统采用PLC加触摸屏方式，可以显示环境温度，具有电源欠压、缺相报警，机组本地触摸屏可实现所有温度监视功能。 同时，…

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FLTZ变频多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。

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单通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保恶劣⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。

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帕尔贴Chiller

冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制； 基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；

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负压型控温机组

负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现精准温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却。

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