半导体刻蚀直冷机etch chiller的控温技术及在刻蚀中的关键应用

2025年7月11日 6

半导体制造工艺对温度控制的准确性有着严苛的要求，特别是在刻蚀环节，温度波动会直接影响刻蚀速率、选择比和线宽精度。刻蚀直冷机etch chiller作为一种直接将制冷剂输送至目标控温元件的设备，在半导体刻蚀领应用广泛。

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