常温高jing度系列：CHILLER 制冷循环器介绍

2026年5月13日行业新闻半导体chiller30

冠亚恒温小编为大家介绍常温高jing度系列 CHILLER 制冷循环器。该系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，实现制冷加热与高jing度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域的温控需求，以稳定的温度输出适配高jing密制造场景。

设备温度范围为 + 15℃至 + 25℃，出口控温jing度 ±0.005℃，可满足jing密制程对温度稳定性的严苛要求。制冷量 @20℃覆盖 2.5kW 至 25kW，可根据不同制程的热负荷需求选择适配型号，避免冷量供给不足或过剩的问题。介质类型支持氟化液、乙二醇水溶液、纯净水、DI 水等，适配不同制程对介质的要求，可根据工艺需求选择对应介质类型。

控制模式采用本体出液口温度控制模式，可选工件负载温度控制，工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合，控制工件目标温度，实现动态控温。设备采用 PID 算法或 PLC 控制，实现温度波动≤±0.005℃，适用于高jing密制造场景。

介质流量压力为 15LPM@3bar 至 30LPM@5bar，介质接口涵盖 Rc1/2、Rc3/4、Rc1 等规格，冷却水接口包括 Rc3/8、Rc1/2、Rc1 等，冷却水流量从 0.6m³/h 到 5.5m³/h 不等，可匹配不同制程设备的管路布局与流量需求。膨胀罐容积为 10L 至 25L，可根据型号适配。

安全防护方面，设备具备自我诊断功能，相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏液报jing、进出液口压力监控及低液位保护等功能，实时监测设备运行状态，异常时自动报jing并停机，保障设备与制程设备的安全运行。通讯类型支持 MODBUS RTU/TCP 协议或 ETHERCAT、LONWORKS 等，可接入产线自动化控制系统，实现远程监控与参数调整，适配工业场景的自动化运行需求。

常温高jing度系列 CHILLER 制冷循环器以高jing度控温、多介质适配与稳定运行的特性，为高jing密制造场景提供可靠的温控支持，可根据不同制程的温度需求、流量需求选择适配型号，保障制程的稳定运行。