【产品介绍】TCU换热控温系统ZLF系列

Chiller 换热型 系统无压缩机

2023年10月8日 1718

冷却能力5KW~30KW温度范围冷却水温度+5℃~90℃ ±0.3℃储罐容积6L~15L尺寸480*750*390/480*750*500

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半导体Chiller设备温控技术在晶圆制造工艺中的应用实践

2025年7月25日 285

在晶圆制造过程中，半导体Chiller设通过制冷与加热的动态调节，为晶圆制造各环节提供稳定的温度环境，其核心作用是维持工艺过程中温度的准确控制，避免因温度波动导致的图形转移偏差、薄膜均匀性下降等问题。

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三通道直冷机的工作原理、智能PID调节及在半导体、化工与新能源测试中的多温区控制解决方案

2025年7月11日 230

直冷式制冷技术因其直接换热的原理，在多个工业领域展现出较高的适用性。其中，三通道直冷机通过多回路控温设计，能够同时满足不同温区的制冷需求，在半导体制造、化工生产、制药及大型服务器冷却等行业得到应用。

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晶圆制造领域控温chiller应用案例

2025年2月27日 285

在晶圆制造领域，晶圆制造领域控温chiller的应用比较重要，因为准确的温度控制能够确保晶圆加工过程中的质量和产量。以下晶圆制造领域控温chiller是一些具体的应用案例： 案例一：光刻过程中的温度控制 应用描述：光刻是晶圆制造中的关键步骤，需...

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