【产品介绍】二次换热型TCU控温系统SR系列

【产品介绍】TCU换热控温系统ZLF系列

2024年9月24日 324

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晶圆制造领域控温chiller应用案例

2025年2月27日 167

在晶圆制造领域，晶圆制造领域控温chiller的应用比较重要，因为准确的温度控制能够确保晶圆加工过程中的质量和产量。以下晶圆制造领域控温chiller是一些具体的应用案例： 案例一：光刻过程中的温度控制 应用描述：光刻是晶圆制造中的关键步骤，需...

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HLTZ系列氢气高效换热制冷机组

2024年11月25日 860

适用范围 氢气经过内高压换热器，制冷系统通过制冷剂直接与氢气换热，实现高效换热控温；设备本体采用正压防爆系统，正压系统内置有恒温器，确保系统环境维持在常温。相对于传统防冻液或其他流体与氢气换热，本设备采用介质为制冷系统制冷剂（相变热），...

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半导体Chiller设备温控技术在晶圆制造工艺中的应用实践

2025年7月25日 108

在晶圆制造过程中，半导体Chiller设通过制冷与加热的动态调节，为晶圆制造各环节提供稳定的温度环境，其核心作用是维持工艺过程中温度的准确控制，避免因温度波动导致的图形转移偏差、薄膜均匀性下降等问题。

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