【产品介绍】二次换热型TCU控温系统SR系列

Chiller 换热型 系统无压缩机

2023年10月8日 1789

冷却能力5KW~30KW温度范围冷却水温度+5℃~90℃ ±0.3℃储罐容积6L~15L尺寸480*750*390/480*750*500

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半导体Chiller设备温控技术在晶圆制造工艺中的应用实践

2025年7月25日 316

在晶圆制造过程中，半导体Chiller设通过制冷与加热的动态调节，为晶圆制造各环节提供稳定的温度环境，其核心作用是维持工艺过程中温度的准确控制，避免因温度波动导致的图形转移偏差、薄膜均匀性下降等问题。

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【设备发货】某生物制药企业tcu高低温一体机出货

2025年1月15日 438

满载的货车、忙碌的生产部门都在有条不紊的执行着每一项计划，默契配合、齐心协力的安排，才有了一辆辆装满了设备的大货车按期出货。 忙而不乱，忙而有序。虽然tcu高低温一体机订单量大，生产忙碌，节奏加快，但我们的质量却没下降。 用心服务，落实细节是我...

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晶圆制造领域控温chiller应用案例

2025年2月27日 306

在晶圆制造领域，晶圆制造领域控温chiller的应用比较重要，因为准确的温度控制能够确保晶圆加工过程中的质量和产量。以下晶圆制造领域控温chiller是一些具体的应用案例： 案例一：光刻过程中的温度控制 应用描述：光刻是晶圆制造中的关键步骤，需...

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