【产品介绍】二次换热型TCU控温系统SR系列

半导体Chiller设备温控技术在晶圆制造工艺中的应用实践

2025年7月25日 160

在晶圆制造过程中，半导体Chiller设通过制冷与加热的动态调节，为晶圆制造各环节提供稳定的温度环境，其核心作用是维持工艺过程中温度的准确控制，避免因温度波动导致的图形转移偏差、薄膜均匀性下降等问题。

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【产品介绍】TCU换热控温系统ZLF系列

2024年9月24日 366

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ETCU换热控温单元

2024年5月25日 595

ETCU换热控温单元冷却⽔温度范围：+5℃〜+90℃，控温精度±0.05℃；系统⽆压缩机，通过换热降温；⽀持⾮标定制，⽀持PC远程控制；采⽤西⻔⼦/霍尼⻙尔调节阀控制冷却⽔流量；最⼤循环量时，控温温度与冷却⽔温度温差15°C。

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晶圆制造领域控温chiller应用案例

2025年2月27日 212

在晶圆制造领域，晶圆制造领域控温chiller的应用比较重要，因为准确的温度控制能够确保晶圆加工过程中的质量和产量。以下晶圆制造领域控温chiller是一些具体的应用案例： 案例一：光刻过程中的温度控制 应用描述：光刻是晶圆制造中的关键步骤，需...

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