半导体冷板测试中的分液难点与多工位控温方案

2026年6月5日 0

半导体冷板测试中，多工位并行测试较为常见，一台Chiller可能需要连接多个冷板或多个测试模块。使用液冷方案时，分液结构、支路流阻、管路长度、高度差和冷板热负载都会影响制冷量分配和温度一致性。

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