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半导体行业制造工序多且复杂,为了提高产品的良品率,需要在半导体的每个制程工艺进行质量把控,影响产品质量的其中一个重要因素就是温度控制,温控的稳定性及控温精度是提升良品率的关键。

冠亚制冷半导体控温Chiller为半导体工艺流程的前端到后端提供整体支持,凭借高精度、宽温度范围、低能耗的控温系统,通过10多年的温度控制经验以及直接配套经验积累,公司研发生产标准化产品及非标定制化产品,满足半导体工艺流程中苛刻的温度要求,推动半导体产业国产化。

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