半导体工艺气体控温：CHILLER 制冷系列原理介绍

2026年4月28日 1

在半导体制造工艺中，气体控温是保障制程稳定性的基础环节，不同工艺环节对气源温度有着明确要求，冠亚研发的CHILLER气体制冷系列，专为半导体工艺气体控温设计，依托成熟的制冷循环与换热技术，实现对工艺气体的jing准降温与恒温控制

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