【产品介绍】二次换热型TCU控温系统SR系列

半导体Chiller设备温控技术在晶圆制造工艺中的应用实践

2025年7月25日 252

在晶圆制造过程中，半导体Chiller设通过制冷与加热的动态调节，为晶圆制造各环节提供稳定的温度环境，其核心作用是维持工艺过程中温度的准确控制，避免因温度波动导致的图形转移偏差、薄膜均匀性下降等问题。

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三通道直冷机的工作原理、智能PID调节及在半导体、化工与新能源测试中的多温区控制解决方案

2025年7月11日 206

直冷式制冷技术因其直接换热的原理，在多个工业领域展现出较高的适用性。其中，三通道直冷机通过多回路控温设计，能够同时满足不同温区的制冷需求，在半导体制造、化工生产、制药及大型服务器冷却等行业得到应用。

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HLTZ系列氢气高效换热制冷机组

2024年11月25日 1242

适用范围 氢气经过内高压换热器，制冷系统通过制冷剂直接与氢气换热，实现高效换热控温；设备本体采用正压防爆系统，正压系统内置有恒温器，确保系统环境维持在常温。相对于传统防冻液或其他流体与氢气换热，本设备采用介质为制冷系统制冷剂（相变热），...

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ETCU换热控温单元

2024年5月25日 718

ETCU换热控温单元冷却⽔温度范围：+5℃〜+90℃，控温精度±0.05℃；系统⽆压缩机，通过换热降温；⽀持⾮标定制，⽀持PC远程控制；采⽤西⻔⼦/霍尼⻙尔调节阀控制冷却⽔流量；最⼤循环量时，控温温度与冷却⽔温度温差15°C。

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