FLTZ -25℃～90℃

温度范围 -25℃～90℃
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
膨胀罐容积10L~35L
内循环液容积4L~20L
制冷剂R404A
控温精度±0.1℃

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，产品有流体氟化液控温（最低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机（-120度）、直冷型制冷机组（-150度）等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

40℃以内加热方式采用压缩机热气加热。
chiller 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵。
Chiller 100%氦检测，100%安规检测，确保系统安全可靠。
chiller 100%经过24小时连续运行拷机。
冷凝器微通道换热器（风冷）板式换热器（水冷）
蒸发器：板式换热器
节流装置：电子膨胀阀
控制系统：PLC可编程控制器
通讯：RS485接口Modbus RTU协议
以太网接口 TCP/IP协议
操作界面：无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
循环系统：整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，不挥发导热介质，低温自动补充导热介质进入循环系统。
外壳材质：冷轧板喷塑RAL7035
管路内部含：不锈钢SUS304、铜、陶瓷、碳化硅、硅酮密封胶、PTFE

型号	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
温度范围	-25℃～90℃
控温精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控温精度设备）
流量 MAX	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
制冷量at-15℃	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
内循环液容积	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨胀罐容积	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷剂	R404A
载冷剂	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷却水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷却水流量at20℃	1.2m³/H	1.6m³/H	2.6m³/H	3.6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10.2m³/H
⼯艺过程温度控制	可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度（动态控温）
外形尺寸 cm	9045113	9045113	9045113	10550140	10550140	10860150	10860150