半导体制造Chiller设备如何通过宽域控温保障工艺稳定性

2025年7月25日 13

在半导体制造过程中，从晶圆蚀刻到芯片封装测试，各类工艺对温度环境有着严苛且差异化的要求。半导体Chiller设备作为温度控制的核心控温装置之一，通过多样化的技术设计与灵活的调节能力，为不同工艺场景提供稳定的温度支持。

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