半导体制程洁净温控：超纯水温控设备说明

2026年5月11日 1

半导体制程对环境洁净度与温控jing度要求严苛，超纯水温控设备作为洁净制程的核心温控装置，以超纯水为介质，实现对制程设备的jing准控温，同时保障介质洁净度，适配晶圆制造、芯片加工等环节的温控需求。

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