超纯水温控系列的控温原理与维护有哪些？

2026年4月17日 1

冠亚恒温研发的CHILLER超纯水温控系列，由制冷循环与介质循环两大核心系统构成，以DIWATER为循环介质，为半导体晶圆、光伏电池、液晶面板等工艺提供稳定的超纯水温控服务，温度范围+15℃~+40℃，控温精度±0.1℃

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