冷冻机-工业冷冻机-高低温一体机
Chiller 换热型 系统无压缩机
- 冷却能力5KW~30KW
- 温度范围冷却水温度+5℃~90℃ ±0.3℃
- 储罐容积6L~15L
- 尺寸480*750*390/480*750*500
半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。
冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。
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型号 |
ETCU-005W |
ETCU-008W |
ETCU-015W |
ETCU-030W |
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温度范围 |
冷却水温度 +5℃~90℃ ±0.3℃ |
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冷却水温度 |
7℃~30℃ 采用西门子/霍尼韦尔调节阀控制冷却水流量 |
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冷却能力 |
5kw |
8kw |
15kw |
30kw |
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测试条件：zui大循环量时，控温温度与冷却水温度温差15℃ |
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循环泵流量 |
7~20L/min 5bar |
7~20L/min 5bar |
15~40L/min 5bar |
20~60L/min 5bar |
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储罐容积 |
6L |
8L |
10L |
15L |
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尺寸 |
480*750*390 |
480*750*390 |
480*750*390 |
480*750*500 |
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电源 |
220V 50HZ/60hz 0.6kw |
220V 50HZ/60hz1.3kw |
220V 50HZ/60hz 1.6kw |
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