Chiller 双变频

半导体chiller 半导体温控装置Chiller

温控精度±0.1℃
温度范围-45℃~90℃
泵压力6bar max
内循环液容积8L
电源 220V 50/60HZ

半导体投入大，制造工序多，为了提高产品的良品率、确保收益，需要在半导体的每个环节进行质量把控，影响产品质量的其中一个重要因素就是温度，温度的稳定性及精准度非常重要，为获得稳定可靠的产品保驾护航。

冠亚循环冷却器和水- 水热交换器为从前端到后端的整体半导体工艺流程提供支持。通过拥有超过16年的温度控制经验以及与各大zhi名主设备机台直接配套经验，我们为半导体客户提供标准产品及用户定制产品、温度控制技术的专业知识以及全球化服务，有助于满足您从铸锭到测试的半导体工艺流程中苛刻的温度要求。

型号	FLTZ-D-202W		FLTZ-D-203W		FLTZ-D-B003B203W
通道系数	CH1	CH2	CH1	CH2	CH1	CH2
介质温度范围	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃
控制系统	PLC控制器		PLC控制器		PLC控制器
控制模式	本体出液口温控控制模式
	负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度	±0.1℃
冷却能力	1kW@-20℃	1kW@-20℃	2.5kW@-15℃	2.5kW@-15℃	4kW@-15℃	20kW@冷却水温度+10℃
	4kW@10℃	4kW@10℃	6kW@10℃	6kW@10℃	10kW@10℃
加热能力	1.6kW	1.6kW	5.5kW	5.5kW	2kW	5.5kW
介质类型、电阻率	DI WATER@10~18MΩ·cm		氟化液		氟化液
介质流量压力	20LPM@5bar	20LPM@5bar	20LPM@3bar	20LPM@3bar	20LPM@5bar	20LPM@5bar
介质接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	20℃@2.5m³/h@2~4bar		20℃@3.5m³/h@2~4bar		20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@3.5m³/h@2~4bar
冷却水接口	Rc3/4		Rc3/4		Rc3/4	Rc3/4
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	15L	15L	15L	15L	15L	15L
操作面板	7寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三相(可定制)		380 VAC ± 10%，三相(可定制)		220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率	11kW(49A)		18kW（48A)		14.5kW（55A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035		冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	6085140		75110170		4690187
非标定制	配离子交换树脂过滤器带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡		带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能可定制设计满足semi2/semiF47认证可定制双通道液位平衡

型号	FLTZ-T-B203B205A1W			FLTZ-T-B440A2A2W			FLTZ-T-B210A1C1W
通道系数	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3
介质温度范围	-10~＋60℃	30~＋80℃	-10~＋80℃	-40℃~+50℃	30℃~+120℃	30℃~+50℃	-25℃~+90℃	30℃~+90℃	25℃~+160℃
控制系统	PLC控制器			PLC控制器			PLC控制器
控制模式	本体出液口温控控制模式
	负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度	±0.1℃
冷却能力	4kW@-10℃	6kW@冷却水温度+10℃	3kW@-10℃	20kW@-30℃	20kW@50℃	25kW@35℃	10kW@-10℃	10kW@30℃	4kW@100℃
	16kW@20℃		10kW@20℃
加热能力	5.5kW	5.5kW	4kW	5.5kW	15kW	5.5kW	2kW	7.5kW	7.5kW
介质类型、电阻率	氟化液			氟化液			氟化液
介质流量压力	17LPM@7bar	17LPM@7bar	17LPM@7bar	30LPM@11.5bar	30LPM@11.5bar	23LPM@10bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar	30LPM@6.5bar
介质接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷却水	20℃@2.7m³/h@2~4bar	20℃@2.5m³/h@2~4bar	20℃@1.6m³/h@2~4bar	20℃@20m³/h@2~4bar	20℃@7m³/h@2~4bar		20℃@5m³/h@2~4bar
冷却水接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1	Rc1	Rc1
通道温度控制	PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制	15~20LPM变频调节功能
流量显示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容积	40L	40L	40L	25L	25L	25L	25L	25L	25L
操作面板	7寸彩色触摸屏			10寸彩色触摸屏
安全防护	具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置	LOTO
漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON
通讯类型	支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境	No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体 30-70%(No condensation)
电源	220 VAC ± 10%，三相(可定制)			380 VAC ± 10%，三相(可定制)			380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率	31kW（113A)			65kW（136A)			34kW（135A)
外壳材质	冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035			冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm	70100185			115150210			105135195
非标定制	带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证