快速温变控温卡盘MD

型号

MD-708

MD-712

MDL-708

温度范围

-75℃～225℃

-75℃～225℃

-75℃～225℃

控温精度

±0.1℃

±0.1℃

±0.1℃

平板温度均匀性

±1℃

±1℃

±1℃

平板平整度

±50um

±50um

±50um

平板尺寸

直径200mm圆盘

直径300mm圆盘

150mm*200mm

主机与卡片连接线

2.5m(可定制其他长度）

平板表面处理

电镀镍（可选择电镀 黄金）

升温

-60°C to +25°C: 2 min

0°C to +25°C: 2 min

+25°C to +220°C: 6 min

降温

220°C to +25°C: 2 min

+25°C to -60°C: 6 min

控制系统

PLC控制器，加热前馈PID模糊算法，制冷电子膨胀阀PID调节控制制冷量

显示与记录

7寸彩色触摸屏，记录温度曲线

通讯

以太网接口TCP/IP协议

制冷压缩机

泰康压缩机

电源

220V 50/60HZ 2.8KW

220V 50/60HZ 4.5KW

220V 50/60HZ 2.8KW

主机尺寸mm

550×650×370

550×650×370

550×650×370